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職名 |
助教授・准教授 |
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研究分野・キーワード |
半導体工学、半導体デバイス、半導体物性、半導体製造プロセス |
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ホームページ |
http://www.oit.ac.jp/www-ee/server/semicon/~shigess01/index.php |
小山 政俊 (コヤマ マサトシ)
KOYAMA Masatoshi
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所属学会 【 表示 ／ 非表示 】
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2004年12月-継続中
応用物理学会 その他
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2006年01月-継続中
IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers) その他
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2018年07月-継続中
電子情報通信学会 日本国
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The Electrochemical Society その他
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American Physical Society その他
所属学会委員歴 【 表示 ／ 非表示 】
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2024年06月-継続中
電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会 幹事
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2021年04月-2023年03月
応用物理学会 関西支部 幹事
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2024年04月-継続中
電気学会 関西支部 協議員
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2018年06月-継続中
電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会 専門委員
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2019年07月
Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD 2019) Technical Program Committee
論文 【 表示 ／ 非表示 】
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Heat Resistance Improvement of Palladium Pre Plated Frames of Semiconductor Packaging with a New Additive for Nickel Plating
S. Sekiguchi, S. Mizuhashi, Y. Sato, M. Koyama, Y. Shindo ( 共著 )
CS MANTECH Digest of papers 2025年05月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Electron-Beam Deposition with Low Spitting Silver Source Material Improved by New Impurity Removal Processes
Y. Fujimoto, T. Kobayashi, M. Koyama, Y. Shindo ( 共著 )
CS MANTECH Digest of papers 2025年05月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Electron-beam Deposition with Low Spitting Platinum Source Material Improved by New Impurity Removal Processes
Atsushi Kawashimo, Takahiro Kobayashi, Masatoshi Koyama, Yuichiro Shindo ( 共著 )
CS MANTECH Digest of papers 2024年05月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Fabrication and characterization of low barrier height InAs/GaxIn1-xAs/InAs heterostructure diodes toward millimeter-wave detection
Moto Inou,; Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, and Shigehiko Sasa ( 共著 )
2023 48th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz) 2023年10月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Characterization of the VO2 Thin Films Grown on Glass Substrates by MOD
Hideo Wada, Taito Fukawa, Kazuaki Toyota, Masatoshi Koyama, Nobuya Hiroshiba, Kazuto Koike ( 共著 )
IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 143 ( 2 ) 54 - 62 2023年02月
研究論文（学術雑誌） 日本語
総説・解説記事 【 表示 ／ 非表示 】
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ミストCVD 法によって成膜したc 面サファイア基板上 非晶質GaOx 薄膜の物性と紫外線応答の評価
山崎 伊織 榎 俊介 西川 未咲 小山 政俊 藤井 彰彦 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2025-17 2025年06月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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ミストCVD法によって成膜した非晶質Ga2O3薄膜の紫外線応答特性
宮嵜 愛実 山崎 伊織 田中 悠馬 小山 政俊 藤井 彰彦 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2024-17 15 - 18 2024年08月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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エキシマ光アシストプロセスを用いた 酸化インジウム薄膜トランジスタの作製と特性評価
笠原 綾祐 駒井 伯成 和田 英男 小山 政俊 藤井 彰彦 清水 昭宏 竹添 法隆 山口 紫苑 伊藤 寛泰 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2024-15 8 - 11 2024年08月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験
前元利彦、大浦紀頼、和田英男、小山政俊、佐々誠彦、藤井彰彦 ( 共著 )
信学技報, vol. 123, no. 41, ED2023-1, pp. 1-6, 2023年5月. ( 電子情報通信学会 ) 123 ( 41, ED2023-1 ) 1 - 6 2023年05月
総説・解説（大学・研究所紀要） 日本語
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酸化物半導体を用いた薄膜デバイス応用の新展開
前元利彦，孫 屹，松田宗平，佐々木翔太，芦田浩平，カルトシュタイン オリバー， 小山政俊，小池一歩，矢野満明，佐々誠彦
IEICE Technical Report ( 電子情報通信学会 ) ED2015-121 1
総説・解説（学術雑誌） 日本語
工業所有権 【 表示 ／ 非表示 】
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半導体装置の製造方法及び半導体装置
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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半導体装置の製造方法
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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半導体装置及び半導体装置の製造方法
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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Method for manufacturing semiconductor device
M. Koyama, K. Matsuura, T. Komatani
出願国：日本国 出願日：2012年11月14日 出願人名称：Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.
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Method for fabricating semiconductor device
Masatoshi Koyama
出願国：日本国 出願日：2011年07月13日 出願人名称：Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.
競争的資金等の研究課題 【 表示 ／ 非表示 】
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高電子移動度トランジスタ応用を目指した高熱伝導率基板上への酸化ガリウム薄膜の結晶成長技術に関する研究
公益財団法人天野工業技術研究所 研究助成
研究期間：2024年04月 - 2025年03月
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シリコン基板を用いた「酸化ガリウム高電子移動度トランジスタ」の開発
科学研究費助成事業 基盤研究(C)
研究期間：2021年04月 - 2024年03月
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腎機能低下の早期発見に役立つ「絹フィブロインを用いたバイオセンサー」の開発
科研費基盤研究(C)（分担）
研究期間：2020年04月 - 2024年03月
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ヘテロ接合を利用した高強度テラヘルツパルス光源の開発
科研費基盤研究(C)（分担）
研究期間：2019年04月 - 2022年03月
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InAs系複合構造を用いた室温動作テラヘルツ波検出器の開発
科学研究費助成事業 若手研究(B)
研究期間：2017年04月 - 2021年03月
研究発表 【 表示 ／ 非表示 】
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ミストCVD 法によって成膜したc 面サファイア基板上 非晶質GaOx 薄膜の物性と紫外線応答の評価
山崎 伊織、榎 駿介、西川 未咲、小山 政俊、藤井 彰彦、前元 利彦
国内会議 電子情報通信学会 電子デバイス研究会 ( 山形大学 米沢キャンパス ) 口頭（一般）
2025年06月 -
Electron-Beam Deposition with Low Spitting Silver Source Material Improved by New Impurity Removal Processes
Y. Fujimoto, T. Kobayashi, M. Koyama, Y. Shindo
国際会議 The 39th International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology (CS MANTECH) ( New Orleans, U.S.A. ) ポスター（一般）
2025年05月 -
Heat Resistance Improvement of Palladium Pre Plated Frames of Semiconductor Packaging with a New Additive for Nickel Plating
S. Sekiguchi, S. Mizuhashi, Y. Sato, M. Koyama, Y. Shindo
国際会議 The 39th International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology (CS MANTECH) ( New Orleans, U.S.A ) 口頭（一般）
2025年05月 -
物理リザバーコンピューティングに向けたa-GaOx系光電子シナプス素子の作製と評価
高梨 皓太郎，宮嵜 愛実，山崎 伊織，小松 裕明，河野上 稔也，小山 政俊，生野 孝
国内会議 応用物理学会 春季学術講演会 ( 東京理科大学 ) 口頭（一般）
2025年03月 -
前駆体水溶液を用いた溶液塗布熱分解法による(GaIn)2O3 薄膜の作製 と紫外線センサー応用
堀部 彰人，谷口 佳史，宮嵜 愛実，山崎 伊織， 小山 政俊，廣芝 伸哉，小池 一歩
国内会議 応用物理学会 春季学術講演会 ( 東京理科大学 ) ポスター（一般）
2025年03月
担当授業科目（学内） 【 表示 ／ 非表示 】
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半導体エレクトロニクス特論 ( 講義 )
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材料デバイス開発実務特論 ( 実験実習 )
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電気電子材料 ( 講義 )
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電気数学 ( 講義 )
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センサ工学 ( 講義 )
その他教育活動及び特記事項 【 表示 ／ 非表示 】
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2023年度 電気電子システム工学科 国際PBL（サンホセ大学・派遣）
2023年05月-2023年08月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎
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2022年度 電気電子システム工学科 国際PBL（オンライン・南台科技大学・サンホセ大学）
2022年05月-2022年08月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎 、福岡洋希（布施工科高校）
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2021年度 電気電子システム工学科 国際PBL（オンライン・南台科技大学・サンホセ大学）
2022年02月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎
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2019年度 電気電子システム工学科 国際PBL（南台科技大学・派遣）
2019年08月その他 共同
代表者名：吉田恵一郎 共同者名：小山政俊
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2018年度 電気電子システム工学科 国際PBL（南台科技大学・受入）
2018年08月その他 共同
学外の社会活動（高大・地域連携等） 【 表示 ／ 非表示 】
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高等学校における出張講義（9件）
2024年04月-2025年03月高校生向け出張講義の講師：9件
・出張講義 7件
（東宇治高校、米原高校、賢明学院高校、追手門学院大手前高校、亀岡高校、神戸野田高校、河瀬高校）
・大学体験模擬講義 1件 常翔学園高校、
・高大連携 1件「理数探求体験学習」大阪学芸高校 -
高等学校における出張講義の講師（9件）
2023年04月-2024年03月高校生向け出張講義の講師：9件
・出張講義 7件
（近江兄弟社高校、北千里高校、乙訓高校、追手門学院大手前高校、生駒高校、香里ヌヴェール高校、那賀高校）
・高大連携 1件 大阪学芸高校
・「超」探求サマースクール -
高等学校における出張講義の講師（6件）
2022年04月-2023年03月高校生向け出張講義の講師：6件
・出張講義 5件
（香里ヌヴェール高校、阿倍野高校、長浜北高校、狭山高校、鳴尾高校）
・高大連携 1件「夢発見ゼミ」 常翔学園高校、 -
高等学校における出張講義の講師（5件）
2021年04月-2022年03月高校生向け出張講義の講師：5件
・出張講義 5件
（狭山高校、大阪青陵高校、追手門学院大手前高校、淀川工科高校、宝塚西高校）