小山 政俊 (コヤマ マサトシ)

KOYAMA Masatoshi

写真a

職名

助教授・准教授

研究分野・キーワード

半導体工学、半導体デバイス、半導体物性、半導体製造プロセス

ホームページ

http://www.oit.ac.jp/www-ee/server/semicon/~shigess01/index.php

出身学校 【 表示 / 非表示

  • 大阪工業大学   工学部   電気電子システム工学科   その他

出身大学院 【 表示 / 非表示

  • 大阪工業大学大学院  工学研究科  博士課程  修了  その他

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 大阪工業大学大学院 -  博士(工学)  半導体物性・デバイス

所属学会 【 表示 / 非表示

  • 2004年12月
    -
    継続中
     

    応用物理学会  その他

  • 2006年01月
    -
    継続中
     

    IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers)  その他

  • 2018年07月
    -
    継続中
     

    電子情報通信学会  日本国

  •  
     
     
     

    American Physical Society  その他

  •  
     
     
     

    Materials Research Society  その他

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所属学会委員歴 【 表示 / 非表示

  • 2024年06月
    -
    継続中

    電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会   幹事

  • 2021年04月
    -
    2023年03月

    応用物理学会 関西支部   幹事

  • 2024年04月
    -
    継続中

    電気学会 関西支部   協議員

  • 2018年06月
    -
    継続中

    電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会   専門委員

  • 2019年07月
     
     

    Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD 2019)   Technical Program Committee

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研究分野 【 表示 / 非表示

  • 半導体工学

  • 半導体材料

  • 半導体物性

 

論文 【 表示 / 非表示

  • Electron-beam Deposition with Low Spitting Platinum Source Material Improved by New Impurity Removal Processes

    Atsushi Kawashimo, Takahiro Kobayashi, Masatoshi Koyama, Yuichiro Shindo  ( 共著 )

    CS MANTECH Digest of papers     2024年05月

    研究論文(国際会議プロシーディングス)  英語

  • Fabrication and characterization of low barrier height InAs/GaxIn1-xAs/InAs heterostructure diodes toward millimeter-wave detection

    Moto Inou,; Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, and Shigehiko Sasa  ( 共著 )

    2023 48th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)     2023年10月

    研究論文(国際会議プロシーディングス)  英語

    DOI

  • Characterization of the VO2 Thin Films Grown on Glass Substrates by MOD

    Hideo Wada, Taito Fukawa, Kazuaki Toyota, Masatoshi Koyama, Nobuya Hiroshiba, Kazuto Koike  ( 共著 )

    IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials   143 ( 2 ) 54 - 62   2023年02月

    研究論文(学術雑誌)  日本語

    DOI

  • Repeated bending durability evaluation of ZnO and Al-doped ZnO thin films grown on cyclo-olefin polymer for flexible oxide device applications

    K Oura, T Kumatani, H Wada, M Koyama, T Maemoto, S Shigehiko  ( 共著 )

    Japanese Journal of Applied Physics     2022年09月

    研究論文(学術雑誌)  英語

    DOI

  • Decay time extension of terahertz electromagnetic waves emitted from coherent longitudinal optical phonons in GaAs epitaxial layers with the use of fast atom bombardment

    HIDEO TAKEUCHI, YUTO OMUKU, RYOTA ONODA, TOSHIHIRO NAKAOKA, JUN UTSUMI, SHIGEO KAWASAKI, MASATOSHI KOYAMA  ( 共著 )

    Optics Continuum     2022年09月

    研究論文(学術雑誌)  英語

    DOI

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総説・解説記事 【 表示 / 非表示

  • ミストCVD法によって成膜した非晶質Ga2O3薄膜の紫外線応答特性

    宮嵜 愛実 山崎 伊織 田中 悠馬 小山 政俊 藤井 彰彦 前元 利彦  ( 共著 )

    信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2024-17   15 - 18   2024年08月

    総説・解説(学術雑誌)  日本語

  • エキシマ光アシストプロセスを用いた 酸化インジウム薄膜トランジスタの作製と特性評価

    笠原 綾祐 駒井 伯成 和田 英男 小山 政俊 藤井 彰彦 清水 昭宏 竹添 法隆 山口 紫苑 伊藤 寛泰 前元 利彦  ( 共著 )

    信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2024-15   8 - 11   2024年08月

    総説・解説(学術雑誌)  日本語

  • フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験

    前元利彦、大浦紀頼、和田英男、小山政俊、佐々誠彦、藤井彰彦  ( 共著 )

    信学技報, vol. 123, no. 41, ED2023-1, pp. 1-6, 2023年5月. ( 電子情報通信学会 ) 123 ( 41, ED2023-1 ) 1 - 6   2023年05月

    総説・解説(大学・研究所紀要)  日本語

  • InAs/AlGaSb 量子細線3分岐構造における非線形電子輸送

    小山政俊, 井上達也,藤原健司, 天野直樹,前元利彦, 佐々誠彦, 井上正崇

    信学技報 ( 電子情報通信学会 )   ED2007-242  

    その他記事  日本語

  • InAs/AlGaSb 極微構造におけるバリスティック電子輸送特性と整流効果

    小山政俊, 高橋寛, 井上達也,前元利彦, 佐々誠彦, 井上正崇

    信学技報 ( 電子情報通信学会 )   ED2006-252  

    その他記事  日本語

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工業所有権 【 表示 / 非表示

  • 半導体装置の製造方法及び半導体装置

    小山政俊

    出願国:日本国  出願日:2015年10月21日  出願人名称:住友電気工業株式会社

  • 半導体装置の製造方法

    小山政俊

    出願国:日本国  出願日:2015年10月21日  出願人名称:住友電気工業株式会社

  • 半導体装置及び半導体装置の製造方法

    小山政俊

    出願国:日本国  出願日:2015年10月21日  出願人名称:住友電気工業株式会社

  • Method for manufacturing semiconductor device

    M. Koyama, K. Matsuura, T. Komatani

    出願国:日本国  出願日:2012年11月14日  出願人名称:Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.

  • Method for fabricating semiconductor device

    Masatoshi Koyama

    出願国:日本国  出願日:2011年07月13日  出願人名称:Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.

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競争的資金等の研究課題 【 表示 / 非表示

  • 高電子移動度トランジスタ応用を目指した高熱伝導率基板上への酸化ガリウム薄膜の結晶成長技術に関する研究

    公益財団法人天野工業技術研究所  研究助成

    研究期間:2024年04月  -  2025年03月 

  • シリコン基板を用いた「酸化ガリウム高電子移動度トランジスタ」の開発

    科学研究費助成事業 基盤研究(C)

    研究期間:2021年04月  -  2024年03月 

  • 腎機能低下の早期発見に役立つ「絹フィブロインを用いたバイオセンサー」の開発

    科研費基盤研究(C)(分担)

    研究期間:2020年04月  -  2024年03月 

  • ヘテロ接合を利用した高強度テラヘルツパルス光源の開発

    科研費基盤研究(C)(分担)

    研究期間:2019年04月  -  2022年03月 

  • InAs系複合構造を用いた室温動作テラヘルツ波検出器の開発

    科学研究費助成事業 若手研究(B)

    研究期間:2017年04月  -  2021年03月 

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研究発表 【 表示 / 非表示

  • (111) 3C-SiC テンプレート基板上への κ-Ga2O3 薄膜のミスト CVD 成長

    田中悠馬、宮嵜愛実、山崎伊織、小山政俊、藤井彰彦、前元利彦

    国内会議  電気学会関西支部 若手研究発表会  ( 大阪公立大学I-siteなんば )  ポスター(一般)

    2024年12月
     
     

  • 熱処理がアモルファス酸化ガリウム薄膜の結晶構造・光学特性に与える影響

    山崎伊織,宮嵜愛実,田中悠馬,小山政俊,藤井彰彦,前元利彦

    国内会議  電気学会関西支部 若手研究発表会  ( 大阪公立大学I-siteなんば )  ポスター(一般)

    2024年12月
     
     

  • 低障壁 InAs/GaInAs/InAs ヘテロ構造ダイオードにおける非線形電流-電圧特性

    川野 亮、井上 礎、小山政俊、藤井彰彦、前元利彦

    国内会議  電気学会関西支部 若手研究発表会  ( 大阪公立大学I-siteなんば )  ポスター(一般)

    2024年12月
     
     

  • エキシマ光アシストプロセスを用いた InGaOチャネル多結晶酸化物薄膜トランジスタの作製と特性評価

    落合秀哉,笠原綾祐,和田英男,小山政俊,藤井彰彦,清水昭宏,竹添法隆,山口紫苑,伊藤寛泰,前元利彦

    国内会議  電気学会関西支部 若手研究発表会  ( 大阪公立大学I-siteなんば )  ポスター(一般)

    2024年12月
     
     

  • Achieving High Current Density in AlOx/ZnO Multilayer TFTs for Flexible OLED Applications through Low-Temperature Post Annealing

    Kensuke Nakata, Kaiko Yuge, Akira Fujimoto, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, and Toshihiko Maemoto

    国際会議  The 2024 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai  ( Ryukoku Univ. Fukakusa Campus (Jojukan), Kyoto, Japan )  ポスター(一般)

    2024年11月
     
     

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担当授業科目(学内) 【 表示 / 非表示

  • 半導体エレクトロニクス特論   ( 講義 )

  • 材料デバイス開発実務特論   ( 実験実習 )

  • 電気電子材料   ( 講義 )

  • 電気数学   ( 講義 )

  • センサ工学   ( 講義 )

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その他教育活動及び特記事項 【 表示 / 非表示

  • 2023年度 電気電子システム工学科 国際PBL(サンホセ大学・派遣)

    2023年05月
    -
    2023年08月

    その他  共同

    代表者名:小山政俊  共同者名:又吉 秀仁、吉田恵一郎 

  • 2022年度 電気電子システム工学科 国際PBL(オンライン・南台科技大学・サンホセ大学)

    2022年05月
    -
    2022年08月

    その他  共同

    代表者名:小山政俊  共同者名:又吉 秀仁、吉田恵一郎 、福岡洋希(布施工科高校) 

  • 2021年度 電気電子システム工学科 国際PBL(オンライン・南台科技大学・サンホセ大学)

    2022年02月
     
     

    その他  共同

    代表者名:小山政俊  共同者名:又吉 秀仁、吉田恵一郎 

  • 2019年度 電気電子システム工学科 国際PBL(南台科技大学・派遣)

    2019年08月
     
     

    その他  共同

    代表者名:吉田恵一郎  共同者名:小山政俊 

  • 2018年度 電気電子システム工学科 国際PBL(南台科技大学・受入)

    2018年08月
     
     

    その他  共同