小山 政俊 (コヤマ マサトシ)

KOYAMA.Masatoshi

写真a

職名

助教授・准教授

研究分野・キーワード

半導体工学、半導体デバイス、半導体物性、半導体製造プロセス

ホームページ

http://www.oit.ac.jp/www-ee/server/semicon/~shigess01/index.php

出身学校 【 表示 / 非表示

  • 大阪工業大学   工学部   電気電子システム工学科   その他

出身大学院 【 表示 / 非表示

  • 大阪工業大学大学院  工学研究科  博士課程  修了  その他

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 大阪工業大学大学院 -  博士(工学)  半導体物性・デバイス

所属学会 【 表示 / 非表示

  •  
     
     
     

    American Physical Society  その他

  •  
     
     
     

    Materials Research Society  その他

  •  
     
     
     

    日本材料学会  日本国

  •  
     
     
     

    The Electrochemical Society  その他

  • 2004年12月
    -
    継続中
     

    応用物理学会  その他

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所属学会委員歴 【 表示 / 非表示

  • 2021年04月
    -
    2023年03月

    応用物理学会 関西支部   幹事

  • 2018年06月
    -
    継続中

    電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会   専門委員

  • 2019年09月
     
     

    13th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics   Technical Program Committee

  • 2022年06月
    -
    継続中

    電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会   幹事補佐

  • 2022年09月
     
     

    14th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics   Technical Program Committee

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研究分野 【 表示 / 非表示

  • 半導体工学

  • 半導体物性

  • 半導体物性

 

論文 【 表示 / 非表示

  • Electron-beam Deposition with Low Spitting Platinum Source Material Improved by New Impurity Removal Processes

    Atsushi Kawashimo, Takahiro Kobayashi, Masatoshi Koyama, Yuichiro Shindo  ( 共著 )

    CS MANTECH Digest of papers     2024年05月

    研究論文(国際会議プロシーディングス)  英語

  • Fabrication and characterization of low barrier height InAs/GaxIn1-xAs/InAs heterostructure diodes toward millimeter-wave detection

    Moto Inou,; Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, and Shigehiko Sasa  ( 共著 )

    2023 48th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)     2023年10月

    研究論文(国際会議プロシーディングス)  英語

    DOI

  • Characterization of the VO2 Thin Films Grown on Glass Substrates by MOD

    Hideo Wada, Taito Fukawa, Kazuaki Toyota, Masatoshi Koyama, Nobuya Hiroshiba, Kazuto Koike  ( 共著 )

    IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials   143 ( 2 ) 54 - 62   2023年02月

    研究論文(学術雑誌)  日本語

    DOI

  • Repeated bending durability evaluation of ZnO and Al-doped ZnO thin films grown on cyclo-olefin polymer for flexible oxide device applications

    K Oura, T Kumatani, H Wada, M Koyama, T Maemoto, S Shigehiko  ( 共著 )

    Japanese Journal of Applied Physics     2022年09月

    研究論文(学術雑誌)  英語

    DOI

  • Decay time extension of terahertz electromagnetic waves emitted from coherent longitudinal optical phonons in GaAs epitaxial layers with the use of fast atom bombardment

    HIDEO TAKEUCHI, YUTO OMUKU, RYOTA ONODA, TOSHIHIRO NAKAOKA, JUN UTSUMI, SHIGEO KAWASAKI, MASATOSHI KOYAMA  ( 共著 )

    Optics Continuum     2022年09月

    研究論文(学術雑誌)  英語

    DOI

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総説・解説記事 【 表示 / 非表示

  • フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験

    前元利彦、大浦紀頼、和田英男、小山政俊、佐々誠彦、藤井彰彦  ( 共著 )

    信学技報, vol. 123, no. 41, ED2023-1, pp. 1-6, 2023年5月. ( 電子情報通信学会 ) 123 ( 41, ED2023-1 ) 1 - 6   2023年05月

    総説・解説(大学・研究所紀要)  日本語

  • InAs/AlGaSb 量子細線3分岐構造における非線形電子輸送

    小山政俊, 井上達也,藤原健司, 天野直樹,前元利彦, 佐々誠彦, 井上正崇

    信学技報 ( 電子情報通信学会 )   ED2007-242  

    その他記事  日本語

  • InAs/AlGaSb 極微構造におけるバリスティック電子輸送特性と整流効果

    小山政俊, 高橋寛, 井上達也,前元利彦, 佐々誠彦, 井上正崇

    信学技報 ( 電子情報通信学会 )   ED2006-252  

    その他記事  日本語

  • 溶液法を用いた酸化亜鉛系薄膜トランジスタの作製および熱ナノインプリント法による酸化物薄膜のダイレクトパターニング

    木村史哉, アブドゥラ ハナキ, 孫 屹, 佐々木祥太, 永山幸希, 小山政俊, 前元利彦, 佐々誠彦

    信学技報 ( 電子情報通信学会 ) 116 ( 471 ) ED2016-132, 13  

    その他記事  日本語

  • 酸化物半導体を用いた薄膜デバイス応用の新展開

    前元利彦,孫 屹,松田宗平,佐々木翔太,芦田浩平,カルトシュタイン オリバー, 小山政俊,小池一歩,矢野満明,佐々誠彦

    IEICE Technical Report ( 電子情報通信学会 ) ED2015-121   1  

    総説・解説(学術雑誌)  日本語

工業所有権 【 表示 / 非表示

  • 半導体装置の製造方法及び半導体装置

    小山政俊

    出願国:日本国  出願日:2015年10月21日  出願人名称:住友電気工業株式会社

  • 半導体装置の製造方法

    小山政俊

    出願国:日本国  出願日:2015年10月21日  出願人名称:住友電気工業株式会社

  • 半導体装置及び半導体装置の製造方法

    小山政俊

    出願国:日本国  出願日:2015年10月21日  出願人名称:住友電気工業株式会社

  • Method for manufacturing semiconductor device

    M. Koyama, K. Matsuura, T. Komatani

    出願国:日本国  出願日:2012年11月14日  出願人名称:Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.

  • Method for fabricating semiconductor device

    Masatoshi Koyama

    出願国:日本国  出願日:2011年07月13日  出願人名称:Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.

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競争的資金等の研究課題 【 表示 / 非表示

  • 高電子移動度トランジスタ応用を目指した高熱伝導率基板上への酸化ガリウム薄膜の結晶成長技術に関する研究

    公益財団法人天野工業技術研究所  研究助成

    研究期間:2024年04月  -  2025年03月 

  • シリコン基板を用いた「酸化ガリウム高電子移動度トランジスタ」の開発

    科学研究費助成事業 基盤研究(C)

    研究期間:2021年04月  -  2024年03月 

  • 腎機能低下の早期発見に役立つ「絹フィブロインを用いたバイオセンサー」の開発

    科研費基盤研究(C)(分担)

    研究期間:2020年04月  -  2024年03月 

  • ヘテロ接合を利用した高強度テラヘルツパルス光源の開発

    科研費基盤研究(C)(分担)

    研究期間:2019年04月  -  2022年03月 

  • InAs系複合構造を用いた室温動作テラヘルツ波検出器の開発

    科学研究費助成事業 若手研究(B)

    研究期間:2017年04月  -  2021年03月 

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研究発表 【 表示 / 非表示

  • Electron-beam Deposition with Low Spitting Platinum Source Material Improved by New Impurity Removal Processes

    Atsushi Kawashimo, Takahiro Kobayashi, Masatoshi Koyama, and Yuichiro Shindo

    国際会議  International Conference on Compound Semiconductor manufacturing Technology  ( Tuson, Arizona, U.S.A. )  口頭(一般)

    2024年05月
     
     

  • 水系前駆体溶液とエキシマ光を用いた酸化インジウム薄膜トランジスタの作製と特性評価

    笠原 綾祐、駒井 伯成、和田 英男、小山 政俊、藤井 彰彦、清水 昭宏、竹添 法隆、山口 紫苑、伊藤 寛泰、前元 利彦

    国内会議  応用物理学会 春季学術講演会  ( 東京都市大学 )  ポスター(一般)

    2024年03月
     
     

  • ミストCVD成長した非晶質Ga2O3薄膜のアニール処理による結晶構造の変化と深紫外線応答特性

    宮嵜 愛実、山崎 伊織、田中 悠馬、小山 政俊、藤井 彰彦、前元 利彦

    国内会議  応用物理学会 春季学術講演会   ( 東京都市大学 )  ポスター(一般)

    2024年03月
     
     

  • ミリ波検出を目指した低障壁InAs/GaxIn1-xAs/InAs ヘテロ構造ダイオードの作製と特性評価

    井上 礎、川野 亮、小山 政俊、藤井 彰彦、前元 利彦、佐々 誠彦

    国内会議  応用物理学会 春季学術講演会  ( 東京都市大学 )  ポスター(一般)

    2024年03月
     
     

  • Low-temperature fabrication process of In2O3 thin-film transistors using aqueous precursor solution and excimer light

    Takeaki Komai, Ryosuke Kasahara, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto, Akihiro Shimizu, Noritaka Takezoe and Hiroyasu Ito

    国際会議  International Meeting for Future Electron Devices, Kansai (IMFEDK)  ( Avanti Kyoto Hall, Kyoto, Japan) )  ポスター(一般)

    2023年11月
     
     

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担当授業科目(学内) 【 表示 / 非表示

  • 半導体エレクトロニクス特論   ( 講義 )

  • 材料デバイス開発実務特論   ( 実験実習 )

  • 電気電子材料   ( 講義 )

  • 電気数学   ( 講義 )

  • センサ工学   ( 講義 )

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その他教育活動及び特記事項 【 表示 / 非表示

  • 2022年度 電気電子システム工学科 国際PBL(サンホセ大学・派遣)

    2023年05月
    -
    2023年08月

    その他  共同

    代表者名:小山政俊  共同者名:又吉 秀仁、吉田恵一郎 

  • 2022年度 電気電子システム工学科 国際PBL(オンライン・南台科技大学・サンホセ大学)

    2022年05月
    -
    2022年08月

    その他  共同

    代表者名:小山政俊  共同者名:又吉 秀仁、吉田恵一郎 、福岡洋希(布施工科高校) 

  • 2021年度 電気電子システム工学科 国際PBL(オンライン・南台科技大学・サンホセ大学)

    2022年02月
     
     

    その他  共同

    代表者名:小山政俊  共同者名:又吉 秀仁、吉田恵一郎 

  • 2019年度 電気電子システム工学科 国際PBL(南台科技大学・派遣)

    2019年08月
     
     

    その他  共同

    代表者名:吉田恵一郎  共同者名:小山政俊 

  • 2018年度 電気電子システム工学科 国際PBL(南台科技大学・受入)

    2018年08月
     
     

    その他  共同