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職名 |
助教授・准教授 |
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研究分野・キーワード |
半導体工学、半導体デバイス、半導体物性、半導体製造プロセス |
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ホームページ |
http://www.oit.ac.jp/www-ee/server/semicon/~shigess01/index.php |
小山 政俊 (コヤマ マサトシ)
KOYAMA Masatoshi
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所属学会 【 表示 ／ 非表示 】
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2004年12月-継続中
応用物理学会 その他
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2006年01月-継続中
IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers) その他
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2018年07月-継続中
電子情報通信学会 日本国
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2025年08月-継続中
European Materials Research Society フランス共和国
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The Electrochemical Society その他
所属学会委員歴 【 表示 ／ 非表示 】
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2024年06月-継続中
電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会 幹事
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2021年04月-2023年03月
応用物理学会 関西支部 幹事
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2024年04月-継続中
電気学会 関西支部 協議員
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2018年06月-継続中
電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会 専門委員
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2019年07月
Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD 2019) Technical Program Committee
論文 【 表示 ／ 非表示 】
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ミストCVD成長した非晶質Ga2O3薄膜のアニール処理による結晶構造と紫外線応答特性への影響
小山政俊, 宮嵜愛実，山崎伊織，田中悠馬，西川未咲，小池一歩，藤井彰彦，前元利彦 ( 共著 )
材料 74 ( 10 ) 2025年10月
研究論文（学術雑誌） 日本語
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可視光ブラインド紫外線検出器への応用を目指した溶液塗布熱分解法 によるC 面サファイア基板上へのβ相(Ga1−xInx)2O3 混晶膜の作製と評価
小池 一歩, 堀部彰人, 谷口佳史, 宮嵜愛実, 山崎伊織, 鶴山大翔, 小山政俊, 廣芝伸哉 ( 共著 )
材料 74 ( 10 ) 2025年10月
研究論文（学術雑誌） 日本語
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Heat Resistance Improvement of Palladium Pre Plated Frames of Semiconductor Packaging with a New Additive for Nickel Plating
S. Sekiguchi, S. Mizuhashi, Y. Sato, M. Koyama, Y. Shindo ( 共著 )
CS MANTECH Digest of papers 2025年05月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Electron-Beam Deposition with Low Spitting Silver Source Material Improved by New Impurity Removal Processes
Y. Fujimoto, T. Kobayashi, M. Koyama, Y. Shindo ( 共著 )
CS MANTECH Digest of papers 2025年05月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Electron-beam Deposition with Low Spitting Platinum Source Material Improved by New Impurity Removal Processes
Atsushi Kawashimo, Takahiro Kobayashi, Masatoshi Koyama, Yuichiro Shindo ( 共著 )
CS MANTECH Digest of papers 2024年05月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
総説・解説記事 【 表示 ／ 非表示 】
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ミストCVD 法によって成膜したc 面サファイア基板上 非晶質GaOx 薄膜の物性と紫外線応答の評価
山崎 伊織 榎 俊介 西川 未咲 小山 政俊 藤井 彰彦 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2025-17 2025年06月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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ミストCVD法によって成膜した非晶質Ga2O3薄膜の紫外線応答特性
宮嵜 愛実 山崎 伊織 田中 悠馬 小山 政俊 藤井 彰彦 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2024-17 15 - 18 2024年08月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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エキシマ光アシストプロセスを用いた 酸化インジウム薄膜トランジスタの作製と特性評価
笠原 綾祐 駒井 伯成 和田 英男 小山 政俊 藤井 彰彦 清水 昭宏 竹添 法隆 山口 紫苑 伊藤 寛泰 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2024-15 8 - 11 2024年08月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験
前元利彦、大浦紀頼、和田英男、小山政俊、佐々誠彦、藤井彰彦 ( 共著 )
信学技報, vol. 123, no. 41, ED2023-1, pp. 1-6, 2023年5月. ( 電子情報通信学会 ) 123 ( 41, ED2023-1 ) 1 - 6 2023年05月
総説・解説（大学・研究所紀要） 日本語
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InAs/AlGaSb 量子細線3分岐構造における非線形電子輸送
小山政俊, 井上達也，藤原健司, 天野直樹，前元利彦, 佐々誠彦, 井上正崇
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2007-242
その他記事 日本語
工業所有権 【 表示 ／ 非表示 】
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半導体装置の製造方法及び半導体装置
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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半導体装置の製造方法
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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半導体装置及び半導体装置の製造方法
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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Method for manufacturing semiconductor device
M. Koyama, K. Matsuura, T. Komatani
出願国：日本国 出願日：2012年11月14日 出願人名称：Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.
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Method for fabricating semiconductor device
Masatoshi Koyama
出願国：日本国 出願日：2011年07月13日 出願人名称：Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.
競争的資金等の研究課題 【 表示 ／ 非表示 】
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カーボンニュートラルを目指した次世代パワーデバイス応用に向けた酸化ガリウム高電子移動度トランジスタのための結晶成長技術に関する研究
公益財団法人増屋記念基礎研究振興財団 研究助成
研究期間：2025年04月 - 2026年03月
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高電子移動度トランジスタ応用を目指した高熱伝導率基板上への酸化ガリウム薄膜の結晶成長技術に関する研究
公益財団法人天野工業技術研究所 研究助成
研究期間：2024年04月 - 2025年03月
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シリコン基板を用いた「酸化ガリウム高電子移動度トランジスタ」の開発
科学研究費助成事業 基盤研究(C)
研究期間：2021年04月 - 2024年03月
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腎機能低下の早期発見に役立つ「絹フィブロインを用いたバイオセンサー」の開発
科研費基盤研究(C)（分担）
研究期間：2020年04月 - 2024年03月
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ヘテロ接合を利用した高強度テラヘルツパルス光源の開発
科研費基盤研究(C)（分担）
研究期間：2019年04月 - 2022年03月
研究発表 【 表示 ／ 非表示 】
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Graphene/MoS2のドーピング効果による非線形伝導
藤元章, 三村賢斗, 長谷川尊之, 小山政俊, 原田義之, 前元利彦
国内会議 日本物理学会 第80回 年次大会 ( 広島大学（東広島キャンパス） ) 口頭（一般）
2025年09月 -
Growth of orthorhombic κ-Ga₂O₃ thin films on N-polar GaN by mist chemical vapor deposition
Misaki Nishikawa, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto
国際会議 European Material Research Society Fall Meeting ( Warsaw, Poland ) ポスター（一般）
2025年09月 -
Growth of orthorhombic κ-(In1-xGax)2O3 thin films on (111) 3C-SiC templates via mist chemical vapor deposition
Masatoshi Koyama, Yuma Tanaka, Misaki Nishikawa, Shunsuke Enoki, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto
国際会議 European Material Research Society Fall Meeting ( Warsaw, Poland ) 口頭（一般）
2025年09月 -
ミスト CVD 法による (111) 3C-SiC/Si テンプレート上 κ-(InxGa1-x)2O3 の成長
西川未咲, 榎駿介, 田中悠馬, 小山政俊, 藤井彰彦, 前元利彦
国内会議 第86回応用物理学会秋季学術講演会 ( 名城大学、名古屋市、愛知県 ) ポスター（一般）
2025年09月 -
合成石英基板上に成膜した非晶質 GaOx 薄膜を用いた 深紫外線検出器の作製と特性評価
榎 駿介、山崎 伊織、西川 未咲、小山 政俊、藤井 彰彦、前元 利彦
国内会議 第86回応用物理学会秋季学術講演会 ( 名城大学、名古屋市、愛知県 ) ポスター（一般）
2025年09月
担当授業科目（学内） 【 表示 ／ 非表示 】
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半導体エレクトロニクス特論 ( 講義 )
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材料デバイス開発実務特論 ( 実験実習 )
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電気電子材料 ( 講義 )
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電気数学 ( 講義 )
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センサ工学 ( 講義 )
その他教育活動及び特記事項 【 表示 ／ 非表示 】
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2023年度 電気電子システム工学科 国際PBL（サンホセ大学・派遣）
2023年05月-2023年08月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎
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2022年度 電気電子システム工学科 国際PBL（オンライン・南台科技大学・サンホセ大学）
2022年05月-2022年08月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎 、福岡洋希（布施工科高校）
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2021年度 電気電子システム工学科 国際PBL（オンライン・南台科技大学・サンホセ大学）
2022年02月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎
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2019年度 電気電子システム工学科 国際PBL（南台科技大学・派遣）
2019年08月その他 共同
代表者名：吉田恵一郎 共同者名：小山政俊
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2018年度 電気電子システム工学科 国際PBL（南台科技大学・受入）
2018年08月その他 共同
学外の社会活動（高大・地域連携等） 【 表示 ／ 非表示 】
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高等学校における出張講義（12件, 2025年10月時点確定分）
2025年04月-現在高校生向け出張講義の講師：12件
・出張講義 10件
（滝川高校 x 2、今宮高校、莵道高校、徳島科学高校、伊丹高校、西宮高校、米原高校、西城陽高校、津名高校）
・大学体験模擬講義 2件 常翔学園高校、浪速高校 -
高等学校における出張講義（9件）
2024年04月-2025年03月高校生向け出張講義の講師：9件
・出張講義 7件
（東宇治高校、米原高校、賢明学院高校、追手門学院大手前高校、亀岡高校、神戸野田高校、河瀬高校）
・大学体験模擬講義 1件 常翔学園高校、
・高大連携 1件「理数探求体験学習」大阪学芸高校 -
高等学校における出張講義の講師（9件）
2023年04月-2024年03月高校生向け出張講義の講師：9件
・出張講義 7件
（近江兄弟社高校、北千里高校、乙訓高校、追手門学院大手前高校、生駒高校、香里ヌヴェール高校、那賀高校）
・高大連携 1件 大阪学芸高校
・「超」探求サマースクール -
高等学校における出張講義の講師（6件）
2022年04月-2023年03月高校生向け出張講義の講師：6件
・出張講義 5件
（香里ヌヴェール高校、阿倍野高校、長浜北高校、狭山高校、鳴尾高校）
・高大連携 1件「夢発見ゼミ」 常翔学園高校、 -
高等学校における出張講義の講師（5件）
2021年04月-2022年03月高校生向け出張講義の講師：5件
・出張講義 5件
（狭山高校、大阪青陵高校、追手門学院大手前高校、淀川工科高校、宝塚西高校）