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職名 |
助教授・准教授 |
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研究分野・キーワード |
半導体工学、半導体デバイス、半導体物性、半導体製造プロセス |
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ホームページ |
小山 政俊 (コヤマ マサトシ)
KOYAMA Masatoshi
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所属学会 【 表示 ／ 非表示 】
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2004年12月-継続中
応用物理学会 その他
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2006年01月-継続中
IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers) その他
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2018年07月-継続中
電子情報通信学会 日本国
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2025年08月-継続中
European Materials Research Society フランス共和国
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2007年02月-継続中
American Physical Society その他
所属学会委員歴 【 表示 ／ 非表示 】
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2024年06月-継続中
電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会 幹事
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2021年04月-2023年03月
応用物理学会 関西支部 幹事
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2026年06月-継続中
電子情報通信学会 和文論文誌C 編集委員
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2024年04月-継続中
電気学会 関西支部 協議員
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2018年06月-継続中
電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会 専門委員
論文 【 表示 ／ 非表示 】
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Fabrication and Characterization of Amorphous GaOx Thin-Film UV-C Photodetectors on Quartz Glass Substrates
Masatoshi Koyama, Shunsuke Enoki, Iori Yamasaki, Misaki Nishikawa, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto ( 共著 )
IEICE Trans. Electronics E-109-C ( 9 ) 333 - 340 2026年08月
研究論文（学術雑誌） 英語
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Kotaro Takanashi, Manami Miyazaki, Iori Yamasaki, Hiroaki Komatsu, Toshiya Kounoue, Masatoshi Koyama, Takashi Ikuno ( 共著 )
Electronic Materials 7 ( 2 ) 12 2026年06月
研究論文（学術雑誌） 英語
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Adverse Effects of Ta Addition in Au Deposition and Their Solutions
Yudai Inagaki, Taichi Ito, Yuichiro Shindo, Takanobu Yamazaki, Masatoshi Koyama, Koji Noguchi ( 共著 )
CS MANTECH Digest of papers 2026年05月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Effect of Cationic Polymer Addition on the Tribological Performance of Electroplated Ag Coatings
Satoshi Takamatsu, Shoei Mizuhashi, Masatsohi Koyama, Yuichiro Shindo ( 共著 )
CS MANTECH Digest of papers 2026年05月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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High-Mobility Indium Gallium Oxide TFTs Fabricated from an Aqueous Precursor with Excimer-Light Activation
Kazuki Ueda, Hideya Ochiai, Ryunosuke Ohtani, Akira Fujimoto, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Akihiro Shimizu, and Toshihiko Maemoto ( 共著 )
Journal of the Society for Information Display 2026年05月
研究論文（学術雑誌） 英語
総説・解説記事 【 表示 ／ 非表示 】
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CSD法による酸化ガリウム薄膜の成膜プロセスの検討と紫外線検出特性
小山政俊・中野有貴・榎 駿介・中嶋颯良・小池一歩・藤井彰彦・前元利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2026 2026年10月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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ミストCVD 法によって成膜したc 面サファイア基板上 非晶質GaOx 薄膜の物性と紫外線応答の評価
山崎 伊織 榎 俊介 西川 未咲 小山 政俊 藤井 彰彦 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2025-17 2025年06月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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ミストCVD法によって成膜した非晶質Ga2O3薄膜の紫外線応答特性
宮嵜 愛実 山崎 伊織 田中 悠馬 小山 政俊 藤井 彰彦 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2024-17 15 - 18 2024年08月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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エキシマ光アシストプロセスを用いた 酸化インジウム薄膜トランジスタの作製と特性評価
笠原 綾祐 駒井 伯成 和田 英男 小山 政俊 藤井 彰彦 清水 昭宏 竹添 法隆 山口 紫苑 伊藤 寛泰 前元 利彦 ( 共著 )
信学技報 ( 電子情報通信学会 ) ED2024-15 8 - 11 2024年08月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験
前元利彦、大浦紀頼、和田英男、小山政俊、佐々誠彦、藤井彰彦 ( 共著 )
信学技報, vol. 123, no. 41, ED2023-1, pp. 1-6, 2023年5月. ( 電子情報通信学会 ) 123 ( 41, ED2023-1 ) 1 - 6 2023年05月
総説・解説（大学・研究所紀要） 日本語
工業所有権 【 表示 ／ 非表示 】
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半導体装置の製造方法及び半導体装置
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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半導体装置の製造方法
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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半導体装置及び半導体装置の製造方法
小山政俊
出願国：日本国 出願日：2015年10月21日 出願人名称：住友電気工業株式会社
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Method for manufacturing semiconductor device
M. Koyama, K. Matsuura, T. Komatani
出願国：日本国 出願日：2012年11月14日 出願人名称：Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.
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Method for fabricating semiconductor device
Masatoshi Koyama
出願国：日本国 出願日：2011年07月13日 出願人名称：Sumitomo Electric Device Innovations, Inc.
受賞 【 表示 ／ 非表示 】
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奨励賞（指導する卒研生による受賞）
電気学会関西支部若手研究発表会 国内学会・会議・シンポジウム等の賞
受賞国：日本国
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Young Researcher Communication Award（指導する院生による受賞）
Asia-Pacific Workshop on Advanced Semiconductor Devices 2025 国際学会・会議・シンポジウム等の賞
受賞国：日本国
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奨励賞（指導する院生による受賞）
電気関係学会関西連合大会 国内学会・会議・シンポジウム等の賞
受賞国：日本国
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Poster Award
2006 Int. Meeting for Future of Electron Devices, Kansai 国際学会・会議・シンポジウム等の賞
受賞国：日本国
競争的資金等の研究課題 【 表示 ／ 非表示 】
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大気圧プロセスによるGa2O3 薄膜を用いた波長選択型紫外線センサの開発とリモートセンシング応用
一般財団法人リモート・センシング技術センター RESTEC研究助成
研究期間：2026年07月 - 2027年03月
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深紫外線光検出器を目指した化学溶液堆積法によるGa2O3薄膜の構造的・光学的特性
公益財団法人 徳山科学技術振興財団 国際交流助成
研究期間：2026年06月 - 2027年06月
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モノリシック3次元集積回路に向けた高移動度・高信頼性酸化物薄膜トランジスタの開発
科学研究費助成事業 基盤研究(C)
研究期間：2026年04月 - 2029年03月
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カーボンニュートラルを目指した次世代パワーデバイス応用に向けた酸化ガリウム高電子移動度トランジスタのための結晶成長技術に関する研究
公益財団法人増屋記念基礎研究振興財団 研究助成
研究期間：2025年04月 - 2026年03月
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高電子移動度トランジスタ応用を目指した高熱伝導率基板上への酸化ガリウム薄膜の結晶成長技術に関する研究
公益財団法人天野工業技術研究所 研究助成
研究期間：2024年04月 - 2025年03月
研究発表 【 表示 ／ 非表示 】
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CSD法による酸化ガリウム薄膜の成膜プロセスの検討と紫外線検出特性
小山 政俊, 中野 有貴, 榎 駿介, 中嶋 颯良, 小池 一歩, 藤井 彰彦, 前元 利彦
国内会議 電子情報通信学会 電子デバイス研究専門委員会 研究会 ( 高知工科大学（永国寺キャンパス） ) 口頭（一般）
2026年10月 -
172 nm 深紫外エキシマ光照射による GaAs 表面化学状態制御と Au/GaAs ショットキー界面特性への影響
門田 陽登、上田 一輝、長谷川 尊之、和田 英男、小山 政俊、藤井 彰彦、清水 昭宏、前元 利彦
国内会議 第87回応用物理学会秋季学術講演会 ( 北海道大学 ) ポスター（一般）
2026年09月 -
NiOx薄膜上へのヨウ化鉛メチルアンモニウムのバーコート製膜と太陽電池特性
中﨑 大湧、柳田 真利、白井 康裕、〇藤井 彰彦
国内会議 第87回応用物理学会秋季学術講演会 ( 北海道大学 ) 口頭（一般）
2026年09月 -
ミストCVD法でc面サファイア基板上に成膜したGaOx薄膜の結晶化挙動と光学特性の成膜温度・PDA温度依存性
中嶋 颯良、山崎 伊織、榎 駿介、西川 未咲、小山 政俊、藤井 彰彦、前元 利彦
国内会議 第87回応用物理学会秋季学術講演会 ( 北海道大学 ) ポスター（一般）
2026年09月 -
真空紫外エキシマ光支援溶液プロセスにおける熱処理温度が多結晶In2O3 TFTの伝達特性に及ぼす影響
上田 一輝、大谷 龍之介、藤元 章、和田 英男、小山 政俊、藤井 彰彦、清水 昭宏、前元 利彦
国内会議 第87回応用物理学会秋季学術講演会 ( 北海道大学 ) ポスター（一般）
2026年09月
担当授業科目（学内） 【 表示 ／ 非表示 】
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半導体エレクトロニクス特論 ( 講義 )
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材料デバイス開発実務特論 ( 実験実習 )
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電気電子材料 ( 講義 )
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電気数学 ( 講義 )
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センサ工学 ( 講義 )
その他教育活動及び特記事項 【 表示 ／ 非表示 】
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2023年度 電気電子システム工学科 国際PBL（サンホセ大学・派遣）
2023年05月-2023年08月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎
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2022年度 電気電子システム工学科 国際PBL（オンライン・南台科技大学・サンホセ大学）
2022年05月-2022年08月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎 、福岡洋希（布施工科高校）
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2021年度 電気電子システム工学科 国際PBL（オンライン・南台科技大学・サンホセ大学）
2022年02月その他 共同
代表者名：小山政俊 共同者名：又吉 秀仁、吉田恵一郎
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2019年度 電気電子システム工学科 国際PBL（南台科技大学・派遣）
2019年08月その他 共同
代表者名：吉田恵一郎 共同者名：小山政俊
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2018年度 電気電子システム工学科 国際PBL（南台科技大学・受入）
2018年08月その他 共同
学外の社会活動（高大・地域連携等） 【 表示 ／ 非表示 】
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ガリレオプラン探求II（常翔学園高校）
2026年04月-現在スーパーコースより3名受け入れ中（毎週火曜日、３・４限目）。
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SHINE (Sustainable Higher Education International Networks & Excellence) Research Program of the Philippine Association of Private Schools, Colleges and Universities
2026年04月-現在 -
高等学校における出張講義・大学見学受け入れ（11件, 2026年10月時点確定分）
2026年04月-現在高校生向け出張講義の講師：7件
・出張講義 5件
（枚方高校、日高高校、賢明学院高校、比叡山高校、神戸鈴蘭台高校）
・大学体験模擬講義 2件 常翔学園高校、上宮高校
大学見学受け入れ：4件
・春の大学見学会（5/16 土、6/13 土）
・大阪学芸高校と５工科高校との大学見学会（6/27）
・秋の大学見学会（10/4 日） -
高等学校における出張講義（13件）
2025年04月-2026年03月高校生向け出張講義の講師：13件
・出張講義 11件
（滝川高校 x 2、今宮高校、莵道高校、徳島科学高校、伊丹高校、西宮高校、米原高校、西城陽高校、津名高校、宝塚西高校）
・大学体験模擬講義 2件 常翔学園高校、浪速高校 -
高等学校における出張講義（9件）
2024年04月-2025年03月高校生向け出張講義の講師：9件
・出張講義 7件
（東宇治高校、米原高校、賢明学院高校、追手門学院大手前高校、亀岡高校、神戸野田高校、河瀬高校）
・大学体験模擬講義 1件 常翔学園高校、
・高大連携 1件「理数探求体験学習」大阪学芸高校