論文 - 眞銅　雅子

Determination of negative-ion density in an electron cyclotron resonance C4F8 plasma

M Shindo, S Hiejima, Y Ueda, S Kawakami, N Ishii, Y Kawai  ( 共著 )

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   116   1065 - 1069   1999年09月

研究論文（学術雑誌）  英語

DOI

Parameters measurement of ECR C4F8/Ar plasma

M Shindo, S Hiejima, Y Ueda, S Kawakami, N Ishii, Y Kawai  ( 共著 )

THIN SOLID FILMS   345 ( 1 ) 130 - 133   1999年05月

研究論文（学術雑誌）  英語

DOI

Negative ion density measurements in fluorocarbon ECR plasma

M Shindo, Y Ueda, S Kawakami, N Ishii, Y Kawai  ( 共著 )

INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHENOMENA IN IONIZED GASES, VOL II, PROCEEDINGS     31 - 32   1999年

研究論文（国際会議プロシーディングス）  英語