論文 - 神村　共住

266nmレーザー光照射における石英ガラスのレーザー損傷耐性

神村 共住，安國 良平, 黒崎 元哉, 面地 和樹, 日高 直寛, 葛生 伸, 堀越 秀春  ( 共著 )

レーザー学会学術講演会第44回年次大会     2024年01月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）  日本語

液中レーザー粉砕法を用いたキナクリドン類のナノ粒子化における側鎖の影響

安國 良平，増田 直人，阿部 晃汰，砂田 明子，神村 共住，杉山 輝樹  ( 共著 )

レーザー学会学術講演会　     2024年01月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）  日本語

Contamination Examination using Laser Damage Morphology on Fused Silica Polished with Magnetic Field-Assisted Finishing

Julian Long, Yuya Tsunezuka, Motoya Kurosaki, Tomosumi Kamimura, Ryohei Yasukuni, Hitomi Yamaguchi  ( 共著 )

2023 SPIE Laser Damage, Dublin/Livemore, California     2023年09月

研究論文（その他学術会議資料等）  英語

液中レーザー粉砕法を用いた有機ナノ粒子作製と応用

安國良平、神村共住、杉山輝樹  ( 単著 )

令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会     2023年09月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）  日本語

Resist removal by laser irradiation combined with ozone water treatment

Ryohei Yasukuni, Atsushi Koizumi, Masashi Yoshimura, Hideo Horibe, Tomosumi Kamimura  ( 共著 )

Journal of Photopolymer Science and Technology   36   271   2023年06月

研究論文（学術雑誌）  英語

レーザー照射とオゾン水処理を用いたレジスト除去と評価

神村共住、安國良平、小泉敦司、中尾友哉、水谷匡希、吉村政志、堀邉英夫  ( 共著 )

The 40th International Conference of Photopolymer Science and Technology - Materials & Processes for Advanced Lithography Nanotechnology and Phototechnology     2023年06月

研究論文（その他学術会議資料等）  英語

Bulk laser-induced damage resistance of SrB4O7 single crystals under 266-nm DUV laser irradiation (II)

Ryoh Noguchi, Kota Sekigawa, Yasunori Tanaka, Yuya Tsunezuka, Tomoya Nakao, Ryohei Yasukuni, Tomosumi Kamimura, Ryota Murai, Yoshinori Takahashi, Shigeyoshi Usami, Masayuki Imanishi, Mihoko Maruyama, Yusuke Mori, and Masashi Yoshimura  ( 共著 )

The 12th Advanced Lasers and Photon Sources (ALPS2023)     2023年04月

研究論文（国際会議プロシーディングス）  英語

ホウ酸系光学結晶SrB4O7の育成と266nm深紫外光多重パルス照射に対するバルク損傷耐性

野口 凌、関川 康太、常塚 祐矢、中尾 友哉、安國 良平、神村 共住、村井 良多、高橋 義典、宇佐美 茂佳、今西 正幸、丸山 美帆子、森 勇介、吉村 政志  ( 共著 )

レーザー学会学術講演会　第43回年次大会     2023年01月

研究論文（その他学術会議資料等）  日本語

Contamination and laser damage morphology on fused silica polished by magnetic field assisted finishing

Julian Long, Yuya Tsunezuka, Akito Uemura, Daiki Funayama, Tomosumi Kamimura, Ryohei Yasukuni, Hitomi Yamaguchi  ( 海外大学に所属する教員との共著 )

47 th international conference and exposition on advanced ceramics and composites     2023年01月

研究論文（国際会議プロシーディングス）  英語

レーザー照射を用いたレジスト除去技術の開発

神村 共住  ( 単著 )

フォトポリマー懇話会第250回講演会     2022年10月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）  日本語

オゾン水を用いた高効率レジスト剥離技術

中尾 友哉、小泉 敦司、安國 良平、神村 共住、吉村 政志、堀邉 英夫  ( 共著 )

第83回 応用物理学会秋季学術講演会     2022年09月

研究論文（その他学術会議資料等）  日本語

高レーザー耐力化に向けた石英ガラス表面の創製と評価に関する研究

常塚 祐矢、植村 暁斗、丸井 春輝、安國 良平、神村 共住、Julian Long、Hitomi Yamaguchi  ( 海外大学に所属する教員との共著 )

第83回 応用物理学会秋季学術講演会     2022年09月

研究論文（その他学術会議資料等）  日本語

磁性元素を添加した酸化インジウムスズの電気特性

藤元章, 柏木行康, 原田義之, 神村共住  ( 共著 )

日本物理学会 2022年秋季大会     2022年09月

研究論文（その他学術会議資料等）  日本語

Resist removal using laser irradiation and ozone water treatment

Tomosumi Kamimura, Atsushi Koizumi, Kouji Okamoto, Ryohei Yasukuni, Masashi Yoshimura, Hideo Horibe  ( 共著 )

The 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology - Materials & Processes for Advanced Lithography Nanotechnology and Phototechnology     2022年06月

研究論文（国際会議プロシーディングス）  日本語

High-speed imaging of photoresist stripping phenomena induced by laser irradiation without causing the laser damage

5. Y. Matsumoto, N. Nishioka, A. Koizumi, A. Uemura, R. Nakamura, M. Yoshimura, H. Horibe, T. Kamimura  ( 単著 )

SPIE Laser Damage     2021年10月

研究論文（国際会議プロシーディングス）  英語

Degradation phenomena and photo luminescence for silica glass irradiated with 266 nm-laser

A. Koizumi, A. Uemura, Y. Matsumoto, N. Kuzuu, H. Horikoshi and T. Kamimura  ( 単著 )

SPIE Laser Damage     2021年10月

研究論文（学術雑誌）  英語

Analysis for damaged surface of Fused Silica with enhanced damage resistance after Magnetic Field-Assisted Finishing

3. Akito Uemura, Haruki Marui, Yuya Tsunezuka, Daichi Shima,Tomosumi Kamimura,　Julian Long,Kristina Merino,and Hitomi Yamaguchi  ( 単著 )

SPIE Laser Damage     2021年10月

研究論文（国際会議プロシーディングス）  英語

Evaluation of surface damage resistance in several polished conditions for SrB4O7 crystal

2. Haruki Marui Sora Aikawa, Yuji Umeda, Yusuke Funamoto, Tomosumi Kamimura, Yasunori Tanaka, Ryota Murai, Yoshinori Takahashi, Tsuyoshi Sugita, Masayuki Imanishi, Yusuke Mori, and Masashi Yoshimura  ( 単著 )

SPIE Laser Damage     2021年10月

研究論文（国際会議プロシーディングス）  英語

がん治療への応用を見据えた広帯域波長可変赤色レーザーの研究

梅村　信弘，高橋　晴紀，神村　共住  ( 単著 )

レーザー学会第553回研究会     2021年07月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）  日本語

高速イメージングを用いたレジスト剥離過程の観察

神村共住、西岡直樹、小泉敦司、松本祐樹、丸井春輝、吉村政志、兼松泰男、中村亮介、堀邊英夫  ( 共著 )

38nd International Conference of Photopolymer Science and Technology Materials & Processesfor Advanced Microlithography, Nanotechnology and Phototechnology     2021年06月

研究論文（国際会議プロシーディングス）  日本語

Fused silica contamination layer removal using magnetic field-assisted finishing

Julian Long, Daniel Ross, Erik Tastepe, Mikayla Lamb, Yusuke Funamoto, Daichi Shima, Tomosumi Kamimura, and Hitomi Yamaguchi  ( 共著 )

Journal of the American Ceramic Society   103 ( 5 ) 3008 - 3019   2020年05月

研究論文（学術雑誌）  英語

High surface laser-induced damage threshold of SrB4O7 single crystals under 266-nm (DUV) laser irradiation

Yasunori Tanaka, Ryota Murai, Yoshinori Takahashi, Tsuyoshi Sugita, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi, Sora Aikawa, Haruki Marui, Yuji Umeda, Yusuke Funamoto, Tomosumi Kamimura, Melvin John F. Empizo, Masayuki Imanishi, Yusuke Mori, Masashi Yoshimura  ( 共著 )

Optics Express   28   29239 - 29244   2020年

研究論文（学術雑誌）  英語

Comparison of Removal Phenomena in Photoresist Materials　Using Laser Irradiation

Tomosumi Kamimura, Naoki Nishioka, Yuji Umeda, Daichi Shima, Yusuke Funamoto, Yoshiyuki Harada, Masashi Yoshimura, Ryosuke Nakamura, and Hideo Horibe  ( 共著 )

J. Photopolym. Sci. Technol.   32 ( 4 ) 603 - 607   2019年06月

研究論文（学術雑誌）  英語

Polarization-sensitive femtosecond mid-infrared spectrometer with a tunable Fabry–Perot filter and chirped-pulse upconversion

Ryosuke Nakamura, Yoshizumi Inagaki, and Tomosumi Kamimura  ( 共著 )

Applied Optics   57 ( 36 ) 10517 - 10521   2018年12月

研究論文（学術雑誌）  英語

Time-resolved Analysis of Resist Stripping Phenomenon Using Laser Irradiation

omosumi Kamimura, Yuji Umeda, Hirouki Kuramae, Kosuke Nuno, Ryosuke Nakamura, and Hideo Horibe  ( 単著 )

J. Photopolym. Sci. Technol.   31 ( 3 ) 413 - 418   2018年

研究論文（学術雑誌）  英語

Analysis of resist removal phenomenon using laser irradiation

T. kamimura, H. Kuramae, T. Yamashiro, K. Nuno, Y. Umeda, S. Tsujimoto, R. Nakamura, T. Nishiyama, and H. Horibe  ( 共著 )

J. Photopolym. Sci. Technol.   30 ( 3 ) 291 - 295   2017年

研究論文（学術雑誌）  英語

Removal Technology of Poly-Vinyl Phenol Using Laser Irradiation

T. Kamimura, K. Nuno, Y. Kuroki, T. Yamashiro, S. Tsujimoto, R. Nakamura, S. Takagi, T. Nishiyama, H. Horibe  ( 共著 )

J. Photopolym. Sci. Technol.   29 ( 4 ) 633 - 637   2016年

研究論文（学術雑誌）  英語

Refined Sellmeier and thermo-optic dispersion formulas for Li2B4O7

Nobuhiro Umemura, Jun Watanabe1, Daisuke Matsuda, and Tomosumi Kamimura  ( 共著 )

Japanese Journal of Applied Physics   56 ( 3 ) 032602-1 - 032602-4   2016年

研究論文（学術雑誌）  英語

Wide-bandgap nonlinear crystal LiGaS2 for femtosecond mid-infrared spectroscopy with chirped pulse upconversion

R. Nakamura, Y. Inagaki, H. Hata, N. Hamada, N. Umemura, T. Kamimura  ( 共著 )

Appl. Opt.   55   9365 - 9369   2016年

研究論文（学術雑誌）  英語

Effect of Temperature od Degradation of Polymers for Photoresist Using Ozone

Kohei Matsuura, Takashi Nishiyama, Eriko Sato, Masashi Yamamoto, Tomosumi Kamimura, Kunihito Koike and Hideo Horibe  ( 共著 )

J. Photopolym. Sci. Technol.   29 ( 4 ) 623 - 628   2016年

研究論文（学術雑誌）  英語

Decomposition Process of PMMA-based Polymer Using Atomic Hydrogen Generated by a Tungsten Hot-Wire Catalyst

Seiji Takagi, Takashi Nishiyama, Masashi Yamamoto, Eriko Sato, Tomosumi Kamimura, Toshiyuki Ogata and Hideo Horibe  ( 共著 )

J. Photopolym. Sci. Technol.   29 ( 4 ) 629 - 632   2016年

研究論文（学術雑誌）  英語

Dependence on resist stripping efficiency to irradiating beam size in advanced laser resist stripping method

T. Kamimura, Y. Kuroki, T. Murakami et . al.  ( 共著 )

Journal of Photopolymer Science and Technology   28   307 - 311   2015年

研究論文（学術雑誌）  英語

Scanning removal of ion-implanted novolak resist by using a laser irradiation without occurring laser-induced surface damage

神村共住、黒木雄太、村岡宏樹、西山貴志、原田義之、倉前宏行、堀邊英夫  ( 共著 )

Proc. SPIE   9238   92380K   2014年

研究論文（学術雑誌）  英語

Scannning removal of ion-implanted novolak resist by using a laser irradiation

T. Kamimura, Y. Kuroki, H. Muraoka et al.  ( 共著 )

Journal of Photopolymer Science and Technology   Vol.27   237 - 241   2014年

研究論文（学術雑誌）  英語

Strriping of the potitive-tone Diazonaphthoquinone / Novolak resist using laser irradiation from visible to near infrared wavelength

T. Kamimura, H. Muraoka, Y. Yamana, Y. Matsura, and H. Horibe

Journal of Photopolymer Science and Technology   Volume 25 ( Number 6 ) 741 - 746   2012年

研究論文（学術雑誌）  英語

Laser removal of positive-tone diazonaphthoquinone / novolak resist without occurring laser-induced damage to the silicon wafer

Hiroki Muraoka, Tomosumi Kamimura, Yuki Yamana, Yoshiaki Matsura, and Hideo Horibe

Proc. SPIE 8530, 85301V, 1-5     2012年

研究論文（学術雑誌）  英語

Investigation of bulk laser damage in transparent YAG ceramics controlled with micro-structural refinement

T. Kamimura, Y. Kawaguchi, T. Arii and W. Shirai, T. Mikami, T. Okamoto, Yan Lin Aung, and A. Ikesue  ( 共著 )

Proc. SPIE   7132   713215.1-713215.5   2009年

研究論文（学術雑誌）  英語

酸化亜鉛微粒子の励起子発光の熱処理効果II

檀原有吾，原田義之，神村 共住，平井豪，大野宣人

第19回光物性研究会概要集(2008)，pp.142-145     142 - 145   2008年10月

研究論文（その他学術会議資料等）  日本語

UV laser-induced damage tolerance measurements of CsB3O5 crystals and its application for UV light generation

D. Rajesh, M. Yoshimura, T. Eiro, Y. Mori, T. Sasaki, R. Jayavel, T. Kamimura, T. Katsura, T. Kojima, J. Nishimae and K. Yasui

Optical Materials   Volume 31 ( Issue 2 ) 461 - 463   2008年10月

研究論文（学術雑誌）  日本語

"Effect of Crystal Defects on Laser-Induced-Damage Tolerance of Organic Crystal, 4-Dimethylamino-N-methyl-4-stilbazolium Tosylate,"

Y. Takahashi, K. Sugiyama, S. Brahadeeswaran, S. Onzuka, T. Kamimura, M. Yoshimura Y. Mori, K. Yoshida, and T. Sasaki,

Jpn. J. Appl. Phys., 46, No. 1, 318-323     2007年01月

"Twin-free High-Quality DAST Crystals-Effcted through Solutions of Lower Supersaturation Coupled with lsothermal Solvent Evaporation,"

S. Brahadeeswaran, S. Onduka, M. Takagi, Y. Takahashi, H. Adachi, T. Kamimura, M. Yoshimura Y. Mori, K. Yoshida, and T. Sasaki,

Crystal Growth & Design, 6, No. 11, 2463-2468     2006年01月

"透光性セラミックスレーザー素子開発と次世代レーザー光への応用,"

神村共住、吉田國雄、平等拓範、Yan Lin Aung、池末明生,

マテリアルインテグレーション Vol. 19, No.6, 41-47   Vol. 19 ( No.6 ) 41 - 47   2006年01月

研究論文（学術雑誌）  日本語

" Optical Quality and Laser Performance of Polycrystal and Single Crystal Nd:YAG by Sintering Method,"

A. Ikesue, Yan Lin Aung, T. Yoda, S. Nakayama, T. Kamimura, and K. Yoshida,

Proc. SPIE 5991, 599122.1-599122.9     2006年01月

" Progress in Ceramic Lasers,"

A. Ikesue, Yan Lin Aung, T. Taira, T. Kamimura, K. Yoshida, and GL Messing,

Annual Review of Materials Research, Vol.36, 397-429     2006年01月

“Fabrication and Laser Performance of Polycrystal and Single Crystal Nd:YAG by Advanced Ceramic Processing”

A. Ikesue, Yan Lin Aung, T. Yoda, S. Nakayama, and T. Kamimura.

Optical Materials     2006年01月

Removal of Positive-tone Diazonaphthoquinone/Novolak Resist using UV laser irradiation

H. Horibe, T. Kamimura, and K. Yoshida

Journal of Photopolymer Sience and Technology, 18, No.2, 181 - 185     2005年08月

複合型セラミックスレーザー媒質の開発

吉田國雄、神村共住、池末明生

レーザー加工学会誌Vol. 12, No.2, 112-114     2005年08月

YAGレーザー光ガイド用反射防止膜のレーザー損傷

石田智彦、山岸敏志、神村共住、吉田國雄

レーザー研究33, 676-680     2005年08月

Removal of Diazonaphthoquinone/Novolak Resist using UV laser (266nm)

H. Horibe, T. Kamimura, T. Hata, M. Yamamoto, I. Yamato, O. Nigo, M. Fujita, A. Yoshikado, and K. Yoshida

Polymer Journal, 37, No.11, 813 - 817     2005年08月

Electrical Conductivity of Polymer Composites Filled with Metal

H. Horibe, T. Kamimura, and K. Yoshida

Jpn. J. Appl. Phys 44, No.6, 4171-4175     2005年06月

ハーフトーンマスク用多層レジスト技術の開発

堀邊英夫、高松慎也、市川智和、神村 共住

高分子論文集，Vol.62，No.5，221-227     2005年06月

Characterization of two-photon absorption related to the enhanced bulk quality in CsLiB6O10 crystal

T. Kamimura, R. Nakamura, H. Horibe, M. Nishioka, M. Yamamoto, M. Yoshimura, Y. Mori, T. Sasaki, and K. Yoshida

Jpn. J. Appl. Phys., 44, No.21, L665 - L667     2005年06月

Electrical Conductivity of Polymer Composites Filled with Carbon Black

H. Horibe, T. Kamimura, and K. Yoshida

Jpn. J. Appl. Phys. 44, No.4, 2025-2029     2005年04月

All ceramic composite with layer by layer structure by advanced ceramic technology

K. Yoshida, H. Ishii, T. Kumada, T. Kamimura, A. Ikesue, and T. Okamoto

Proc. SPIE 5647, 247-254 (2005)     2005年03月

Laser-Induced Bulk Damage of Various Types of Silica Glasses at 266 nm

N. Kuzuu, K. Yoshida, K. Ochi, Y. Tsuboi, T. Kamimura, H. Yoshida, and Y. Namba

Jpn. J. Appl. Phys., 43, No. 10, 7174-7175 (2004)     2004年10月

Enhancement of surface-damage resistance by removing a subsurface damage in fused silica and its dependence on wavelength

T. Kamimura, S. Akamatsu, H. Horibe, H. Shiba, T. Okamoto, and K. Yoshida

Jpn. J. Appl. Phys., 43, No. 9A/B, L1229-L1231 (2004)     2004年09月

Laser-Induced Bulk Damage of Various Types of Silica Glasses at 532 and 355 nm

N. Kuzuu, K. Yoshida, K. Ochi, Y. Tsuboi, T. Kamimura, H. Yoshida, and Y. Namba

Jpn. J. Appl. Phys., 43, No. 5A, 2547-2548     2004年05月

超ハイパワーレーザー用光学材料と加工

吉田國雄、神村共住、兒子治

光技術コンタクトVol.42, No.5, 11-16 (2004)     2004年05月

Enhancement of surface-damage resistance by removing a subsurface damage in fused silica

T. Kamimura, S. Akamatsu, M.Yamamoto, I. Yamato, H. Shiba, S. Motokoshi, T. Sakamoto, T. Jitsuno, T. Okamoto, and K. Yoshida

Proc. SPIE 5273, 244-249 (2004)     2004年05月

Development of high-quality CsLiB6O10 (CLBO) crystals for all-solid-state UV lasers

S. Fukumoto, M. Nishioka, T. Kamimura, F. Kawamura, M. Yoshimura, Y. Mori, and T. Sasaki

Proceedings of APLS of 2002, pp.104-107     2003年

Structure and chemical composition of CsB3O5 (CBO) optical surface

V.V. Atuchin, V.G. Kesler, L.D. Pokrovsky, N.Yu. Maklakova, M. Yoshimura, N. Ushiyama, T. Matsui, T. Kamimura, Y. Mori, and T. Sasaki

Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology, Vol.13, No.1, pp.19-23     2003年

100-hour operation of an all-solid-state 20-W 266-nm UV laser by using high-quality CLBO crystal

T. Kojima, S. Konno, S. Fujikawa, K. Yasui, T. Kamimura, M. Yoshimura, Y. Mori, T. Sasaki, M. Tanaka, and Y. Okada

OSA TOPS Vol. 68 Advanced Solid State Lasers, 464-468     2002年

High-quality CLBO crystals with enhanced bulk laser damage threshold and suppressed UV absorption

R. Ono, T. Kamimura, S. Fukumoto, Y. K. Yap, M. Yoshimura, Y. Mori, T. Sasaki, and K. Yoshida

J. Cryst. Growth　237-239, 645-648     2002年

高出力紫外レーザー光発生用結晶CsLiB6O10（CLBO）の高品質化技術

小野利一、神村共住、福本悟、西岡志行、吉村政志、森勇介、佐々木孝友

レーザー研究30, 538-541     2002年

Enhancement of CLBO surface damage resistance by improved crystallinity and ion beam etching

T. Kamimura, S. Fukumoto, R. Ono, Y. K. Yap, M. Yoshimura, Y. Mori and T. Sasaki

Opt. Letｔ, 27, 616-618     2002年

Recent development of nonlinear optical borate crystals for UV generation

Y. Mori, Y. K. Yap, T. Kamimura, M. Yoshimura, and T. Sasaki

Optical Materials 19, 1-5     2002年

Growth and characteristics of CsB3O5 crystal

N. Ushiyama, M. Yoshimura, R. Ono, T. Kamimura, Y. K. Yap, Y. Mori , and T. Sasaki

OSA TOPS Vol. 34 Advanced Solid State Lasers, 622-623     2001年

高出力紫外レーザー光発生用CsLiB6O10結晶の育成

森勇介、神村共住、小野利一、福本悟、葉玉牽、吉村政志、佐々木孝友

結晶成長学会誌Vol. 28, No. 5, 299-305     2001年

Influence of crystallinity on the bulk laser-induced damage threshold and UV absorption of CsLiB6O10 crystals

T. Kamimura, R. Ono, Y. K. Yap, M. Yoshimura, Y. Mori, and T. Sasaki

Jpn. J. Appl. Phys., 40, L111-L113     2001年