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職名 |
教授 |
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研究分野・キーワード |
半導体デバイス、新機能デバイス、酸化物半導体、薄膜デバイス、フレキシブルデバイス |
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所属学会 【 表示 ／ 非表示 】
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1991年04月-継続中
応用物理学会 日本国
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1991年04月-継続中
電子情報通信学会 日本国
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1998年12月-継続中
米国物理学会 アメリカ合衆国
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2008年12月-継続中
米国電気電子学会 アメリカ合衆国
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2018年05月-継続中
日本表面真空学会 日本国
研究経歴 【 表示 ／ 非表示 】
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酸化物半導体を用いた高性能薄膜トランジスタの開発とフレキシブル化に関する研究
科学研究費補助金
研究期間：2016年04月 - 2020年03月
酸化物半導体、薄膜トランジスタ、フレキシブル化
機関内共同研究
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酸化物半導体透明ダイオードの開発とエナジーハーベスティング回路への応用
科学研究費補助金
研究期間：2016年04月 - 2020年03月
酸化物半導体、透明ダイオード、エナジーハーベスティング
機関内共同研究
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溶液法を用いた酸化物薄膜トランジスタの開発と低温化プロセスの開発
科学研究費補助金
研究期間：2016年04月 - 2020年03月
溶液法、酸化物薄膜トランジスタ、低温化プロセス
機関内共同研究
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レーザMBE法による酸化物薄膜の作製と新機能デバイスの開発
研究期間：
レーザMBE，酸化物薄膜，酸化亜鉛，高誘電率酸化膜
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高誘電率酸化物(High-k)薄膜を用いた高速トランジスタの作製と評価
研究期間：
High-k材料，HEMT（高電子移動度トランジスタ）
論文 【 表示 ／ 非表示 】
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ナノスケール多孔質モスアイ構造を有する酸化バナジウム薄膜の結晶性及び光学特性評価
和田 英男，小池 一歩，前元 利彦，矢野 満明，飯田 努 ( 共著 担当範囲:データ解析および議論 )
日本赤外線学会誌 30 ( 1 ) 75 - 81 2020年08月
研究論文（学術雑誌） 日本語
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The thermal stability of ε-Ga2O3 thin films grown on (111) 3C-SiC template substrates
Masatoshi Koyama, Toyokazu Kaneko, Sodai Fujiwara, Toshihiko Maemoto, and Shigehiko Sasa ( 共著 担当範囲:データ評価・解析および全体構成 )
IEEE Xplore 2019年08月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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酸化亜鉛薄膜の形成と物性・デバイス応用
佐々 誠彦, 小池 一歩, 矢野 満明, 前元 利彦 ( 共著 担当範囲:データ評価・解析および全体構成 )
表面と真空 62 ( 7 ) 421 - 426 2018年07月
研究論文（学術雑誌） 日本語
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フレキシブル基板上に形成した酸化亜鉛薄膜トランジスタの曲げ耐性評価
永山幸希，松田宗平，カルトシュタインオリバー，大浦紀頼，小山政俊，前元利彦，佐々誠彦 ( 共著 担当範囲:データ評価・解析および全体構成 )
表面と真空 61 ( 5 ) 274 - 279 2018年05月
研究論文（学術雑誌） 日本語
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Enhanced Terahertz Radiation From GaSb/InAs Heterostructures
S. Sasa, M. Tatsumi, Y. Kinoshita, M. Koyama, T. Maemoto, I. Kawayama, and M. Tonouchi ( 共著 )
Journal of Physics: Conference Series 906 012015-1 - 012015-4 2017年10月
研究論文（学術雑誌） 英語
著書 【 表示 ／ 非表示 】
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ZnO系の最新技術と応用 （第５章 酸化亜鉛系トランジスタとその応用）
前元 利彦
シーエムシー出版 2007年01月 単行本（学術書）
【原書情報】 佐々誠彦，小池一歩，前元利彦，矢野満明，井上正崇
総説・解説記事 【 表示 ／ 非表示 】
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溶液塗布法による酸化物半導体を用いた積層薄膜トランジスタの作製と特性評価
前元利彦 ( 単著 )
文部科学省平成30年度私立大学研究ブランディング事業 ー最終成果報告書ー ( 大阪工業大学 ) 2020年02月
その他記事 日本語
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酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタのフレキシブル化に関する研究
前元利彦 ( 単著 )
文部科学省平成29年度私立大学研究ブランディング事業 ー中間成果報告書ー ( 大阪工業大学 ) 2019年02月
その他記事 日本語
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フレキシブル基板上へ形成した酸化亜鉛薄膜トランジスタの曲げ耐性評価
前元利彦 ( 単著 )
文部科学省平成29年度私立大学研究ブランディング事業 ー中間成果報告書ー ( 大阪工業大学 ) 44 - 49 2018年03月
その他記事 日本語
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文部科学省平成23年度私立大学学術研究高度化推進事業－戦略的研究基盤形成支援事業－ セキュアライフを支援するデバイス・システム基盤研究拠点の形成 中間研究成果報告書（平成23年度）
佐々，前元，矢野，棚橋，石原，原田，小池，尾形，上辻，筒井，小寺，大松，寺田，吉村
( 大阪工業大学工学研究科 ナノ材料マイクロデバイス研究センター ) 2012年03月
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文部科学省平成１８年度私立大学学術研究高度化推進事業－ハイテクリサーチセンター整備事業－ 人に優しい機能集積ナノ材料の創製とマイクロデバイス応用 最終研究成果報告書
矢野，棚橋，野村，中村，中辻，平野，佐々，井上，原田，小池，藤本，小寺，羽賀，前元，上辻，神村
( 大阪工業大学 ) 2011年03月
受賞 【 表示 ／ 非表示 】
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平成23年電気関係学会関西連合大会 連合大会奨励賞 講演題目「酸化物バッファ層を用いたフレキシブル基板上酸化亜鉛透明薄膜トランジスタの作製と評価」（木村祐太：指導学生，2011年10月31日発表）
電気関係学会関西連合大会実行委員会 その他の賞
受賞国：その他
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IEEE EDS Kansai Chapter IMFEDK Student Paper Award（日垣友宏：指導学生） Titled:“Flexible Zinc Oxide Thin-Film Transistors using Oxide Buffer Layers on Polyethylene Napthalate Substrates，Paper ID: PB-9, May 19th, 2011.
IEEE EDS Kansai Chapter その他の賞
受賞国：その他
競争的資金等の研究課題 【 表示 ／ 非表示 】
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酸化物半導体による人体に安全なフレキシブルダイオードの開発とレクテナ回路応用
研究期間：2021年04月 - 2024年03月
研究発表 【 表示 ／ 非表示 】
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溶液プロセスによる酸化物積層薄膜トランジスタの作製とAZOバッファ層の焼結雰囲気および膜厚依存性
大浦 紀頼，和田 英男，小山 政俊，前元 利彦，佐々 誠彦
国内会議 第68回応用物理学会春季学術講演会 ( オンライン開催 ) 口頭（一般）
2021年03月 -
フレキシブル基板上に形成した酸化物薄膜の繰返し曲げ耐久性評価とX線回折による構造解析
大浦 紀頼，熊谷 敏宏，和田 英男，小山 政俊，前元 利彦，佐々 誠彦
国内会議 第68回応用物理学会春季学術講演会 ( オンライン開催 ) 口頭（一般）
2021年03月 -
フレキシブル基板上に形成した酸化物薄膜の繰り返し曲げ耐性とそのリアルタイム抵抗測定評価
熊谷 敏宏，大浦 紀頼，和田 英男，小山 政俊，前元 利彦，佐々 誠彦
国内会議 2020年日本表面真空学会学術講演会 ( オンライン開催 ) 口頭（一般）
2020年11月 -
エキシマ光アシストアニーリングによる溶液プロセスを用いた酸化インジウム薄膜の低温形成とTFTの特性評価
高野 圭祐，大浦 紀頼，和田 英男， 小山 政俊，前元 利彦，佐々 誠彦
国内会議 2020年日本表面真空学会学術講演会 ( オンライン開催 ) 口頭（一般）
2020年11月 -
Structural Analysis and Characterization of Bilayer AZO Thin Film Transistor by Solution Process
K. Oura, K. Takano, H. Wada, M. Koyama, T. Maemoto and S. Sasa
国際会議 33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020) ( Online ) 口頭（一般）
2020年11月
ティーチング・ポートフォリオ 【 表示 ／ 非表示 】
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2021年度
教育の理念：
デジタル化・電化の基盤である半導体デバイスおよび情報通信は、グリーンとデジタルの分野のイノベーションを同時に進める上で非常に重要な産業である。また、産業用ロボットはもともと自動車産業で発展してきたが、近年の人工知能（AI）などの発展とともに、それらロボットなどのあらゆる先端技術に半導体の利用が加速している。そして、従来のロジック回路やメモリだけでなく、画像処理や光検出素子、パワー半導体などの多種多様な半導体が多くの電化製品、あるいは交通や通信などの社会インフラに利用されている。
一方、世界に目を向けると人口増加と発展途上国の経済成長などにより、世界のエネルギー消費量は今後ますます増加すると見込まれている。世界のエネルギー需要の拡大に伴い、化石燃料による地球温暖化などのエネルギーをめぐる課題は世界共通の問題となっており、開発途上国のエネルギー確保は深刻である。世界が持続可能な社会を実現するためには再生可能エネルギーの利用を推進し、日本だけでなく世界規模で地球温暖化問題への対応する必要がある。例えば、低コストで高効率な太陽電池が開発されれば、エネルギーに関する諸問題も解決できる可能性があり、半導体材料はその一翼を担える可能性を持つ。
上述したような諸問題に対し、デジタル化によるエネルギー需要の効率化・CO2削減の促進による省エネ・グリーン化の二つのアプローチを両輪として推進する必要があり、半導体は人々の生活を豊かにするものに繋がる製品の母体となるだけでなく、新しいエネルギー技術の開発や環境問題の解決の糸口にもなりうると考えている。私の専門は、電気電子材料、半導体デバイス・プロセス開発であり、半導体を母体材料とする様々な電子デバイスの研究を進めながら、その先端研究の一端を学生と共有することで、学生自らが問題を提起し、その解決法を見出し、諸問題を乗り越えていけるような素地を形成させたい。そして、幅広い専門知識と実践的な技術を学生に修得させるとともに、また、社会情勢や経済状況を踏まえ国内外を俯瞰でき、社会の諸問題に対して工学的視点から取り組み、将来にわたり社会で活躍できる技術者を情熱をもって育成したい。さらに、将来のさまざまな諸問題に対応するために、「自律した生き方」を意識した教育を目指す。自らの専門分野は常に意識しながら先端技術の理解と把握とともに、関連する異分野の学修も怠ることなく、人の役に立つ技術に携わることの重要性を意識させる。また、電気電子分野の技術史や法則のなりたちなど学修させることで、過去から現在への技術の変遷および未来へと繋がる技術を創造させる。そして、どのように人として技術者として生きていくべきか、学びながら考え自らのキャリアについてイメージさせる。最終的に、生涯学ぶことの意義や重要さを理解してもらうことを理想としている。教育の理念の具現化・成果等：
授業の教授法の開発については過去の学生アンケートをもとに、板書法教授法の開発については過去の学生アンケートをもとに、板書法の改善、パワーポイントスライドの更新、板書フォトの開発、Web演習およびアクティブラーニング実習などを導入し、その内容をフィードバックしながら、授業改善に努める。また実物やデモなどの実験的内容を可能な限り盛り込み、実践的講義を行っていく。さまざまな法則や定理の発見などの歴史的背景に加え、先端分野の研究内容については最新の情報とともに自らの体験談も交えて、より魅力的な授業となるよう常に改善を図っていく。
学習支援については、独自に特別な補習を導入し、成績不振学生をエンカレッジしながら問題解答における間違い等、十分に時間をとってしっかり理解させながら自信を持つように指導したい。学生生活支援等についても、DSシステムの指導においても個々の能力をしっかりと聴取し、個々の能力を伸ばすような適切な助言をするように心がける。その結果、学生たちの理解も深まり、学生生活における学生の満足度も向上すると考えられる。
研究においては、最先端の研究に触れさせることで、成功体験と失敗体験を通し、自らが考え行動する力をつけてやりたいと考えている。特に、失敗したと思っていた成果をそのままにせず、しっかりと分析させて次につながるような指導を心がける。また、学生には個性があり、それぞれの個性を見極めながら、ときには一緒に喜び、ときには叱咤激励をして学生とともに私自身教員としてより成長していきたい。学生のモチベーションを高めるためにも、研究成果はできる限り、学会発表ならびに論文執筆を行う。また、国際性を高めるためにも国際学会への参加を推奨し、英語論文の執筆などの指導も積極的に行っていく。今後の目標・改善点等：
経団連は、技術系人材に対して、①基礎学力の不足、②問題設定能力の不足、③目的意識の欠如、狭い専門領域等の問題点があると指摘している。また、汎用能力として高める能力は、①コミュニケーション・スキル、②数量的スキル、③情報リテラシー、④論理的思考力、⑤問題解決力などが挙げられる。他方、これからの技術者のあり方として必要な能力として、①自己管理力、②チームワーク、③リーダーシップ、④国際性、⑤倫理観、⑥生涯学習力が挙げられ、それらを個々に高めていく必要があると考えられる。社会のグローバル化や科学技術の高度化にともない、複合的な問題を解決できる質の高い技術者の養成のニーズが高まっている。一人ひとりの能力を見極め、個々にそれぞれの能力が高められるよう、これからも現場を第一に考え、教育研究に従事していきたいと考えている。
担当授業科目（学内） 【 表示 ／ 非表示 】
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Re:電磁気学Ⅰ ( 講義 )
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電子デバイス工学 ( 講義 )
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オプトエレクトロニクス ( 講義 )
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電気電子システムPBL ( 実験実習 )
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電気電子システム実験b ( 実験実習 )