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職名 |
教授 |
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研究分野・キーワード |
半導体デバイス、新機能デバイス、酸化物半導体、薄膜デバイス、フレキシブルデバイス |
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所属学会 【 表示 ／ 非表示 】
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1991年04月-継続中
応用物理学会 日本国
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1991年04月-継続中
電子情報通信学会 日本国
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1998年12月-継続中
米国物理学会 アメリカ合衆国
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2008年12月-継続中
米国電気電子学会 アメリカ合衆国
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2018年05月-継続中
日本表面真空学会 日本国
研究経歴 【 表示 ／ 非表示 】
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高移動度酸化物半導体トランジスタの開発
研究期間：2024年04月 - 2025年03月
個人研究
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酸化物半導体を用いた高性能薄膜トランジスタの開発とフレキシブル化に関する研究
科学研究費補助金
研究期間：2016年04月 - 2025年03月
酸化物半導体、薄膜トランジスタ、フレキシブル化
機関内共同研究
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酸化物半導体透明ダイオードの開発とエナジーハーベスティング回路への応用
科学研究費補助金
研究期間：2016年04月 - 2025年03月
酸化物半導体、透明ダイオード、エナジーハーベスティング
機関内共同研究
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溶液法を用いた酸化物薄膜トランジスタの開発と低温化プロセスの開発
科学研究費補助金
研究期間：2016年04月 - 2025年03月
溶液法、酸化物薄膜トランジスタ、低温化プロセス
機関内共同研究
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InAs/AlSb系量子ナノ構造を用いたテラヘルツ波単一光子検出器の開発
研究期間：
InAs/AlSb，ナノ構造，テラヘルツ波，光子検出器
論文 【 表示 ／ 非表示 】
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Achieving High Current Density in AlOX/ZnO Multilayer TFTs for Flexible OLED Applications through Low-Temperature Post Annealing
Kensuke Nakata, Kaiko Yuge, Akira Fujimoto, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, and Toshihiko Maemoto ( 共著 )
Proceedings of 2024 IEEE International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK) 2024年11月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Low-Temperature Fabrication Process of In2O3 Thin-Film Transistors using Aqueous Precursor Solution and Excimer Light
Takeaki Komai, Ryosuke Kasahara, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto, Akihiro Shimizu, Noritaka Takezoe, Hiroyasu Ito ( 共著 )
Proceedings of 2023 IEEE International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK) 2023年11月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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Moto Inou, Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, and Shigehiko Sasa ( 単著 )
48th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz) 2023年09月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 英語
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フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験
前元利彦，大浦紀頼，和田英男，小山政俊，佐々誠彦，藤井彰彦 ( 単著 )
電子情報通信学会技術研究報告 ED2023-1 1 - 6 2023年05月
研究論文（学術雑誌） 英語
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Kazuyori Oura, Toshihiro Kumatani, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, Shigehiko Sasa ( 共著 担当範囲:実施責任者、データ解析および議論 )
Japanese Journal of Applied Physics 61 101001-1 - 101001-7 2022年09月
研究論文（学術雑誌） 英語
著書 【 表示 ／ 非表示 】
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ZnO系の最新技術と応用 （第５章 酸化亜鉛系トランジスタとその応用）
前元 利彦
シーエムシー出版 2007年01月 単行本（学術書）
【原書情報】 佐々誠彦，小池一歩，前元利彦，矢野満明，井上正崇
総説・解説記事 【 表示 ／ 非表示 】
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エキシマ光アシストプロセスを用いた 酸化インジウム薄膜トランジスタの作製と特性評価
笠原 綾祐，駒井 伯成，和田 英男，小山 政俊，藤井 彰彦，清水 昭宏，竹添 法隆，山口 紫苑，伊藤 寛泰，前元 利彦 ( 共著 )
電子情報通信学会技術研究報告(Web) ( 電子情報通信学会 ) 124 ( 158 ) 8 - 11 2024年08月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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ミストCVD法によって成膜した非晶質Ga2O3薄膜の紫外線応答特性
宮嵜 愛実，山崎 伊織，田中 悠馬，小山 政俊，藤井 彰彦，前元 利彦 ( 共著 )
電子情報通信学会技術研究報告(Web) ( 電子情報通信学会 ) 124 ( 158 ) 15 - 18 2024年08月
総説・解説（学術雑誌） 日本語
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フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験
前元利彦、大浦紀頼、和田英男、小山政俊、佐々誠彦、藤井彰彦 ( 共著 担当範囲:実施責任者 )
電子情報通信学会技術研究報告 ( 電子情報通信学会 ) 123 ( 41(ED2023 1-9) ) 1 - 6 2023年05月
総説・解説（大学・研究所紀要） 日本語
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溶液塗布法による酸化物半導体を用いた積層薄膜トランジスタの作製と特性評価
前元利彦 ( 単著 )
文部科学省平成30年度私立大学研究ブランディング事業 ー最終成果報告書ー ( 大阪工業大学 ) 2020年02月
その他記事 日本語
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酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタのフレキシブル化に関する研究
前元利彦 ( 単著 )
文部科学省平成29年度私立大学研究ブランディング事業 ー中間成果報告書ー ( 大阪工業大学 ) 2019年02月
その他記事 日本語
工業所有権 【 表示 ／ 非表示 】
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調光ガラス及びその製造方法、並びに、前記調光ガラスを構成する多孔質モスアイ構造の二酸化バナジウム薄膜
特許
特願：2021-122757
和田 英男，小池 一歩，前元 利彦
出願国：日本国 出願日：2021年07月27日 出願人名称：学校法人常翔学園
受賞 【 表示 ／ 非表示 】
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IEEE EDS Kansai Chapter IMFEDK Student Paper Award
IEEE Electron Devices Society Kansai Chapter 国際学会・会議・シンポジウム等の賞
受賞国：日本国
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第71回応用物理学会春季学術講演会
IEEE Electron Devices Society Kansai Chapter 国内学会・会議・シンポジウム等の賞
受賞国：日本国
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電気材料技術懇談会・若手研究発表会 発表奨励賞（指導学生）
電気材料技術懇談会 国内学会・会議・シンポジウム等の賞
受賞国：日本国
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IEEE EDS Kansai Chapter IMFEDK Student Paper Award（指導学生）
IEEE Electron Devices Society Kansai Chapter 国際学会・会議・シンポジウム等の賞
受賞国：日本国
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日本赤外線学会 第8回（令和4年度）学会誌論文賞
日本赤外線学会 国内外の国際的学術賞
受賞国：日本国
競争的資金等の研究課題 【 表示 ／ 非表示 】
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酸化物半導体による人体に安全なフレキシブルダイオードの開発とレクテナ回路応用
研究期間：2021年04月 - 2024年03月
研究発表 【 表示 ／ 非表示 】
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酸化亜鉛を用いたレクテナ用MIMダイオードの作製と特性評価
門田陽登，中田賢佑，弓削凱晃，和田英男，小山政俊，藤井彰彦，前元利彦
国内会議 第72回応用物理学会春季学術講演会 ( 東京理科大学 野田キャンパス ) ポスター（一般）
2025年03月 -
ミストCVD法によるN極性GaN上κ-Ga2O3の成長と結晶構造解析
西川未咲，市川峻平, 伊藤伸羽, 小山政俊，藤井彰彦，前元利彦
国内会議 第72回応用物理学会春季学術講演会 ( 東京理科大学 野田キャンパス ) ポスター（一般）
2025年03月 -
ミストCVD 法で成膜した非晶質GaOx 紫外線検出器の 紫外線応答特性の成膜温度依存性
山崎伊織, 宮嵜愛実, 田中悠馬, 小山政俊，藤井彰彦，前元利彦
国内会議 第72回応用物理学会春季学術講演会 ( 東京理科大学 野田キャンパス ) ポスター（一般）
2025年03月 -
有機EL駆動用TFTを目指した酸化物積層構造によるZnO-TFTの高電流密度化
髙田直希，中田賢佑，弓削凱晃，藤元 章，和田英男，小山政俊，藤井彰彦，前元利彦
国内会議 応用物理学会関西支部第3回講演会 ( 三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所（伊丹） ) ポスター（一般）
2025年01月 -
(111) 3C-SiC上へのκ-(InxGa1-x)2O3 混晶薄膜のミストCVD成長とその評価
田中悠馬, 宮嵜愛実, 山崎伊織, 小山政俊, 藤井彰彦, 前元利彦
国内会議 応用物理学会関西支部第3回講演会 ( 三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所（伊丹） ) ポスター（一般）
2025年01月
ティーチング・ポートフォリオ 【 表示 ／ 非表示 】
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2023年度
教育の理念：
デジタル化と電化の基盤である半導体デバイスおよび情報通信は、グリーンとデジタルの両分野でのイノベーションを推進する上で極めて重要な産業である。産業用ロボットは自動車産業で発展してきたが、近年の人工知能（AI）の進化とともに、それらロボットを含む先端技術への半導体の利用が加速している。従来のロジック回路やメモリだけでなく、画像処理や光検出素子、パワー半導体など、多種多様な半導体が電化製品や交通、通信などの社会インフラに広く利用されている。
一方、世界では人口増加と発展途上国の経済成長により、エネルギー消費量の増加が予測されている。化石燃料の使用による地球温暖化など、エネルギーをめぐる課題は世界共通の問題であり、特に開発途上国におけるエネルギー確保は深刻である。持続可能な社会を実現するためには、再生可能エネルギーの利用を推進し、地球温暖化問題に対処する必要がある。
例えば、低コストで高効率な太陽電池の開発は、エネルギー問題の解決につながる可能性があり、半導体材料はその一翼を担うことができる。
これらの課題に対し、デジタル化によるエネルギー需要の効率化とCO2削減の促進という「省エネ・グリーン化」の二つのアプローチを同時に進める必要がある。半導体は人々の生活を豊かにする製品の基盤となるだけでなく、新しいエネルギー技術の開発や環境問題の解決の糸口にもなり得ると考えている。
私の専門は電気電子材料および半導体デバイス・プロセス開発であり、半導体を基盤とするさまざまな電子デバイスの研究を進めている。その先端研究の一端を学生と共有し、学生自らが問題を提起し、その解決法を見出し、諸問題を乗り越えていけるような基礎力を養いたいと考えている。幅広い専門知識と実践的な技術を学生に修得させるとともに、社会情勢や経済状況を踏まえ、国内外を俯瞰できる視野を持ち、社会の諸問題に工学的視点から取り組む技術者を、情熱をもって育成したいと考えている。
さらに、将来のさまざまな課題に対応できる「自律した生き方」を意識した教育を目指す。専門分野を深めつつ先端技術を理解し、関連する異分野の学習も怠らず、人の役に立つ技術に携わることの重要性を意識させる。また、電気電子分野の技術史や法則の成り立ちを学ぶことで、過去から現在への技術の変遷を理解し、未来へとつながる技術を創造する力を育む。技術者としてどのように生きていくべきかを学びながら考え、自らのキャリアを具体的にイメージさせることで、生涯学び続けることの意義と重要性を理解してもらうことを理想としている。教育の理念の具現化・成果等：
教育の理念の具現化・成果等：過去の学生アンケートをもとに、授業内容と教授法の改善に取り組んでいる。具体的には、以下のような方法を導入・改善した。板書法の改善とパワーポイントスライドの更新： 学生が理解しやすいように、板書の方法を見直し、スライド資料も最新の情報に更新している。
板書フォトの開発：授業中の板書内容を写真で共有し、復習しやすい環境を整えている。
Web演習およびアクティブラーニング実習の導入：オンラインでの演習問題やグループディスカッションを取り入れ、学生の主体的な学びを促進している。
実物やデモの活用：可能な限り実験的な内容を盛り込み、理論と実践を結びつけた授業を行っている。これらの取り組みの結果、学生からは「理解しやすくなった」「興味を持って学べるようになった」といったポジティブなフィードバックを得ている。
学習支援について：成績不振の学生に対しては、特別な補習を実施している。個別指導を通じて、問題解答における間違いを丁寧に解説し、理解を深めるとともに自信を持てるよう指導している。また、学生生活の支援においては、学生支援システム（注：具体的なシステム名を明記すると良い）を活用し、個々の能力や状況を把握した上で、適切な助言を行うよう心がけている。
研究指導について：最先端の研究に学生を参加させることで、成功体験と失敗体験を通じて、自ら考え行動する力を養っている。特に、失敗と感じた結果もそのままにせず、しっかりと分析し次につなげる指導を重視している。学生の個性を見極め、一緒に喜び、ときには励ましながら、共に成長していきたいと考えている。研究成果については、できる限り学会発表や論文執筆を行い、学生のモチベーションを高めている。国際学会への参加も推奨し、英語論文の執筆指導も積極的に行っている。今後の目標・改善点等：
経団連は技術系人材に対し、以下の問題点を指摘している。①基礎学力の不足、②問題設定能力の不足、③目的意識の欠如、④専門領域の狭さ。また、高めるべき汎用能力として、コミュニケーション・スキル、数量的スキル、情報リテラシー、論理的思考力、問題解決力が挙げられている。さらに、技術者に必要な能力として、自己管理力、チームワーク、リーダーシップ、国際性、倫理観、生涯学習力が求められている。
社会のグローバル化や科学技術の高度化に伴い、複合的な問題を解決できる質の高い技術者の育成ニーズが高まっている。一人ひとりの能力を見極め、個々の才能を最大限に引き出す教育を実践していきたいと考えている。
今後も現場を第一に考え、教育と研究に従事していく。学生が社会で活躍できるよう、教育内容の充実と指導方法の改善に努め、引き続き情熱を持って技術者の育成に取り組んでいく。
担当授業科目（学内） 【 表示 ／ 非表示 】
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開発プロセス基礎演習 ( 実験実習 )
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材料・デバイス開発実務特論 ( 実験実習 )
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半導体エレクトロニクス特論 ( 講義 )
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電気電子システム実験b ( 実験実習 )
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電気電子システムPBL ( 実験実習 )